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电感耦合等离子体辅助及H2/N2气氛调控对非晶Ga2O3薄膜发光特性的影响
材料合成及性能 | 更新时间：2026-09-30

    • 电感耦合等离子体辅助及H2/N2气氛调控对非晶Ga2O3薄膜发光特性的影响

      增强出版

    • Effects of Inductively Coupled Plasma Assistance and H2/N2 Atmosphere Regulation on Luminescence Properties of Amorphous Ga2O3 Thin Films

    • 发光学报   2026年47卷第9期 页码：1705-1716

    • DOI：10.3724/CJL.20260127    

      中图分类号： O482.31
    • CSTR：32170.14.CJL.20260127    

    • 收稿：2026-04-08，

      修回：2026-04-25，

      纸质出版：2026-09-25

    移动端阅览

  • 陈淑珍,陆新洲,杨帆等.电感耦合等离子体辅助及H2/N2气氛调控对非晶Ga2O3薄膜发光特性的影响[J].发光学报,2026,47(09):1705-1716. DOI: 10.3724/CJL.20260127. CSTR: 32170.14.CJL.20260127. DOI：

    CHEN Shuzhen,LU Xinzhou,YANG Fan,et al.Effects of Inductively Coupled Plasma Assistance and H2/N2 Atmosphere Regulation on Luminescence Properties of Amorphous Ga2O3 Thin Films[J].Chinese Journal of Luminescence,2026,47(09):1705-1716. DOI: 10.3724/CJL.20260127. CSTR: 32170.14.CJL.20260127. DOI：

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