Влияние индуктивно связанной плазмы и контроля атмосферы H2/N2 на световые характеристики аморфных пленок Ga2O3
摘要
С помощью технологии магнитронного распыления с индуктивно связанной плазмой (Inductively coupled plasma, ICP) при комнатной температуре были приготовлены аморфные тонкие пленки оксида галлия (Ga2O3) без намеренного легирования и с контролем атмосферы H2/N2. Оптические свойства и свечение, связанное с дефектами, систематически изучены с помощью рентгеновской дифракции, эллипсоидального поляризационного спектра, спектра поглощения, фотолюминесценции (Photoluminescence, PL) и временно-разрешенной фотолюминесценции (Time-resolved photoluminescence, TRPL). Результаты показывают, что все образцы демонстрируют типичное широкополосное дефектное свечение; ICP и атмосфера H2/N2 влияют на поведение свечения аморфных пленок Ga2O3 за счет контроля хвостовых состояний зоны и каналов рекомбинации, связанных с дефектами. ICP в основном модулирует исходные каналы дефектного свечения и оказывает влияние на пограничный индекс поглощения; атмосфера H2 дополнительно регулирует сине-зеленое широкополосное свечение, обеспечивая высокую термостабильность и более длительный наблюдаемый срок затухания; атмосфера N2 значительно увеличивает энергию Урбака, вводит компонент низкоэнергетического свечения около 1,97 эВ и усиливает сложность распределения уровней дефектов. Эта работа предоставляет экспериментальные основания для понимания и управления дефектным свечением аморфных пленок Ga2O3.
关键词
Аморфный оксид галлия;дефектное свечение;контроль H2/N2;фотолюминесценция;индуктивно связанная плазма
以上内容由讯飞翻译自动生成，翻译内容仅供参考。对于因使用本网站翻译内容产生的相关后果，本网站不承担任何商业和法律责任。
The above content is generated by Large Model Translation. The translated content is for reference only. We do not assume any commercial or legal responsibilty for any consequences arising from the use of our website