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LPCVD氮化硅薄膜室温高强度可见光发射
论文 | 更新时间:2020-08-11
    • LPCVD氮化硅薄膜室温高强度可见光发射

    • LUMINESCENCE FROM SILICON NITRIDE FILM BY LPCVD

    • 发光学报   1999年20卷第1期 页码:37-39
    • 收稿:1998-05-30,

      纸质出版:1999-02-28

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  • 刘渝珍, 石万全, 刘世祥, 姚德成, 刘金龙, 韩一琴, 赵玲莉, 孙宝银, 叶甜春, 陈梦真. LPCVD氮化硅薄膜室温高强度可见光发射[J]. 发光学报, 1999,20(1): 37-39 DOI:

    Liu Yuzhen, Shi Wanquan, Liu Shixiang, Yao Decheng, Liu Jinlong, Han Yiqin, Zhao Lingli, Sun Baoyin, Ye Tianchun, Chen Mengzhen. LUMINESCENCE FROM SILICON NITRIDE FILM BY LPCVD[J]. Chinese Journal of Luminescence, 1999,20(1): 37-39 DOI:

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相关作者

刘渝珍
石万全
赵玲莉
孙宝银
叶甜春

相关机构

中国科学院研究生院
中国科学院微电子研究中心
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