基于集成氮化硅超表面VCSEL的涡旋光输出

牛昊; 王永丽; 姜增璇; 李川川; 魏志鹏; 宋国峰

doi:10.37188/CJL.20240300

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基于集成氮化硅超表面VCSEL的涡旋光输出

器件制备及器件物理 | 更新时间：2025-03-17

- 基于集成氮化硅超表面VCSEL的涡旋光输出
  增强出版
- Vortex Light Output Based on Integrated Silicon Nitride Metasurface VCSEL
- “最新进展显示，集成光子器件技术满足了市场对紧凑型、高效光电系统的需求，促进了光学超表面技术发展。专家设计了基于Si3N4纳米天线阵列超表面的850 nm VCSEL，通过调控纳米天线结构参数，实现了超过2π的相位覆盖，并成功产生了不同阶数的涡旋光束，为光学超表面调控VCSEL光场技术提供了新思路。”
- 发光学报 2025年46卷第2期页码：326-333
- 作者机构：
  
  1.长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室，吉林长春 130022
  2.长春理工大学中山研究院，广东中山 528437
  3.中国科学院半导体研究所纳米光电子实验室，北京 100083
- 作者简介：
  
  [ "牛昊（2001-），男，山西临汾人，硕士研究生，2022年于长春理工大学获得学士学位，主要从事半导体激光器的微纳结构设计及其光场模式调控的研究。" ]
  [ "魏志鹏（1978-），男，吉林长春人，博士，教授，博士生导师，2008年于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所获得博士学位，主要从事半导体光电子器件研制及转化方面的研究。" ]
  [ "宋国峰（1965-），男，吉林长春人，博士，正高级工程师，博士生导师，2000年和2001年分别于北京理工大学和中国科学院国家天文台获得博士学位，主要从事半导体光电材料及器件的研究。" ]
- 基金信息：
  
  中华人民共和国科学技术部(2023YFB4604400);国家自然科学基金(12074045;62027820;61904017);吉林省自然科学基金(20230101352JC);教育部“111”创新引智项目(D17017)
- DOI：10.37188/CJL.20240300
  中图分类号： O436;TN248.4
- CSTR：32170. 14. CJL. 20240300
- 收稿日期：2024-11-14，
  
  修回日期：2024-12-02，
  
  纸质出版日期：2025-02-25
- 稿件说明：
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牛昊,王永丽,姜增璇等.基于集成氮化硅超表面VCSEL的涡旋光输出[J].发光学报,2025,46(02):326-333.

NIU Hao,WANG Yongli,JIANG Zengxuan,et al.Vortex Light Output Based on Integrated Silicon Nitride Metasurface VCSEL[J].Chinese Journal of Luminescence,2025,46(02):326-333.
牛昊,王永丽,姜增璇等.基于集成氮化硅超表面VCSEL的涡旋光输出[J].发光学报,2025,46(02):326-333. DOI： 10.37188/CJL.20240300. CSTR： 32170. 14. CJL. 20240300.

NIU Hao,WANG Yongli,JIANG Zengxuan,et al.Vortex Light Output Based on Integrated Silicon Nitride Metasurface VCSEL[J].Chinese Journal of Luminescence,2025,46(02):326-333. DOI： 10.37188/CJL.20240300. CSTR： 32170. 14. CJL. 20240300.

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DOI：10.37188/CJL.20240300