Les avancées récentes dans la technologie des dispositifs photoniques intégrés répondent pleinement aux exigences du marché pour des systèmes optoélectroniques compacts et efficaces, tout en favorisant le développement des technologies de surfaces optiques avancées. Parmi elles, l’intégration des lasers à émission de surface à cavité verticale (VCSEL) avec des surfaces métastructurées permet de générer des faisceaux vectoriels avec des fronts d’ondes spécifiques, renforçant considérablement la fonctionnalité et la flexibilité des systèmes optoélectroniques. Cet article propose la conception d’un VCSEL à 850 nm basé sur une surface métastructurée avec un réseau d’antennes nanométriques en Si3N4, contrôlant les paramètres des antennes pour atteindre une couverture de phase supérieure à 2π. L’utilisation de plaques de phase vortex de premier et second ordre a permis de générer avec succès des faisceaux vortex d’ordres différents. Ce résultat ouvre de nouvelles perspectives pour la modulation du champ lumineux des VCSEL via des surfaces métastructurées optiques.

surface métastructurée;faisceaux vortex;laser à cavité verticale à émission de surface;dispositifs photoniques intégrés