Les dernières avancées dans la technologie des dispositifs photoniques intégrés répondent pleinement aux besoins du marché pour des systèmes optoélectroniques compacts et efficaces, tout en favorisant le développement de la technologie des métasurfaces optiques. En particulier, l'intégration des lasers à cavité verticale émettant par la surface (VCSEL) avec des métasurfaces permet de générer des faisceaux vectoriels dotés d’un front d’onde spécifique, renforçant grandement la fonctionnalité et la flexibilité des systèmes optoélectroniques. Cet article propose une métasurface basée sur un réseau d'antennes nanométriques Si₃N₄ pour un VCSEL à 850 nm, et, en contrôlant les paramètres de la structure des antennes nanométriques, une couverture de phase de plus de 2<inline-formula><alternatives><math xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" id="M1"><mi mathvariant="normal">π</mi></math><graphic specific-use="big" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink" xlink:href="alternativeImage/82E599C0-0906-4f67-9581-2E0D9CF575F6-M001.jpg"?></graphic><graphic specific-use="small" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink" xlink:href="alternativeImage/82E599C0-0906-4f67-9581-2E0D9CF575F6-M001c.jpg"?></graphic></alternatives></inline-formula> a été réalisée. En utilisant des plaques de phase vortex de premier et deuxième ordre, des faisceaux vortex d’ordres variés ont été produits avec succès. Ce résultat ouvre de nouvelles perspectives pour la technologie de contrôle du champ lumineux VCSEL grâce aux métasurfaces optiques.

métasurface;faisceau vortex;laser à cavité verticale émettant par la surface;dispositif photonique intégré