Los avances recientes en la tecnología de dispositivos fotónicos integrados satisfacen completamente la demanda del mercado por sistemas optoelectrónicos compactos y eficientes, al mismo tiempo que impulsan fuertemente el desarrollo de la tecnología de superficies ultrafinas ópticas. Entre ellas, la integración de láseres de emisión vertical en cavidad (VCSEL) con superficies ultrafinas puede generar haces vectoriales con frentes de onda específicos, lo que mejora enormemente la funcionalidad y flexibilidad de los sistemas optoelectrónicos. En este trabajo se diseñó un VCSEL de 850 nm basado en una superficie ultrafina con una matriz de nanoantenas de Si3N4. Mediante el control de los parámetros estructurales de las nanoantenas, se logró una cobertura de fase superior a 2π, y mediante el uso de placas de fase en espiral de primer y segundo orden, se produjeron con éxito haces vortex de diferentes órdenes. Este logro ofrece nuevas ideas para la tecnología de control del campo luminoso de VCSEL mediante superficies ultrafinas ópticas.

superficie ultrafina; haces vortex; láser de emisión vertical en cavidad; dispositivos fotónicos integrados