Последние достижения в технологии интегрированных фотонных устройств полностью удовлетворяют потребности рынка в компактных и эффективных оптоэлектронных системах, а также значительно способствуют развитию технологии оптических сверхповерхностей. В частности, интеграция вертикально-резонаторных поверхностных эмиссионных лазеров (VCSEL) с сверхповерхностями позволяет генерировать векторные пучки света с определённым волновым фронтом, что значительно повышает функциональность и гибкость оптоэлектронных систем. В данной работе разработан 850 нм VCSEL на основе сверхповерхности с наномассивом антенн из Si3N4, управление параметрами структуры наномассивов позволяет достичь фазового покрытия более чем 2π, и с использованием спиральных фазовых пластин первого и второго порядка успешно сгенерированы спиральные пучки различного порядка. Этот результат предлагает новый подход к управлению световым полем VCSEL с помощью оптических сверхповерхностей.

сверхповерхность;спиральные пучки;вертикальные резонаторные лазеры с поверхностной эмиссией;интегрированные фотонные устройства