Последние достижения в технологии интегрированных фотонных устройств полностью удовлетворяют спрос рынка на компактные и эффективные оптоэлектронные системы, а также значительно способствовали развитию технологии оптических сверхповерхностей. В частности, интеграция вертикально-качательного лазера с излучением (VCSEL) и сверхповерхности позволяет создавать векторные световые пучки с определённым фронтом волны, значительно расширяя функциональные возможности и гибкость оптоэлектронных систем. В данной работе разработана сверхповерхность на основе массива наноантенн Si₃N₄ для VCSEL с длиной волны 850 нм, при регулировании параметров структуры наноантенн достигнуто фазовое покрытие более 2<inline-formula><alternatives><math xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" id="M1"><mi mathvariant="normal">π</mi></math><graphic specific-use="big" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink" xlink:href="alternativeImage/82E599C0-0906-4f67-9581-2E0D9CF575F6-M001.jpg"?></graphic><graphic specific-use="small" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink" xlink:href="alternativeImage/82E599C0-0906-4f67-9581-2E0D9CF575F6-M001c.jpg"?></graphic></alternatives></inline-formula>, и с использованием спиральных фазовых пластин первого и второго порядка успешно созданы вихревые световые пучки различных порядков. Данный результат предоставляет новое направление для технологии управления световым полем VCSEL с помощью оптических сверхповерхностей.

сверхповерхность;вихревой световой пучок;вертикально-качательный лазер;интегрированное фотонное устройство