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不同Mo层厚度的AlN/Mo/Sc0.2Al0.8N复合结构上MOCVD外延GaN
发光产业及技术前沿 | 更新时间:2023-10-27
    • 不同Mo层厚度的AlN/Mo/Sc0.2Al0.8N复合结构上MOCVD外延GaN

      增强出版
    • GaN Grown on Sputtered AlN/Mo/Sc0.2Al0.8N Composite Structure with Different Mo Thickness

    • 发光学报   2023年44卷第6期 页码:1077-1084
    • DOI:10.37188/CJL.20220406    

      中图分类号: O482.31
    • 纸质出版日期:2023-06-05

      收稿日期:2022-12-07

      修回日期:2022-12-29

    扫 描 看 全 文

  • 李嘉豪,韩军,邢艳辉等.不同Mo层厚度的AlN/Mo/Sc0.2Al0.8N复合结构上MOCVD外延GaN[J].发光学报,2023,44(06):1077-1084. DOI: 10.37188/CJL.20220406.

    LI Jiahao,HAN Jun,XING Yanhui,et al.GaN Grown on Sputtered AlN/Mo/Sc0.2Al0.8N Composite Structure with Different Mo Thickness[J].Chinese Journal of Luminescence,2023,44(06):1077-1084. DOI: 10.37188/CJL.20220406.

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