通过氧源调控原子层沉积的SnO<italic style="font-style: italic"><sub>x</sub></italic>层实现高效稳定的钙钛矿太阳能电池

谢怿; 吴绍航; 高彦艳; 刘雅晴; 郭日朗; 麦耀华

doi:10.37188/CJL.20220325

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通过氧源调控原子层沉积的SnO_x层实现高效稳定的钙钛矿太阳能电池

器件制备及器件物理 | 更新时间：2023-03-13

- 通过氧源调控原子层沉积的SnO_x层实现高效稳定的钙钛矿太阳能电池
  增强出版
- Constructing Efficient and Stable Perovskite Solar Cells by Adjusting Atomic-layer-deposited SnO_x Layer via Oxygen Sources
- 发光学报 2023年44卷第2期页码：337-345
- 作者机构：
  
  1.暨南大学信息科学技术学院，新能源技术研究院，广东广州　510632
- 作者简介：
  
  [ "谢怿（1997-），男，广东湛江人，硕士研究生，2020年于天津理工大学获得学士学位，主要从事钙钛矿太阳能电池中原子层沉积的研究。E-mail： sayie210@163.com" ]
  [ "吴绍航（1987-），男，广西贵港人，博士，副研究员，2015年于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所获得博士学位，主要从事高效稳定的钙钛矿太阳电池的研究。E-mail： wushaohang@jnu.edu.cn" ]
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金青年项目(62005099);广东省基础与应用基础研究基金项目（粤佛联合基金重点项目）(2021B1515120003)
- DOI：10.37188/CJL.20220325
  中图分类号：
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谢怿, 吴绍航, 高彦艳, 等. 通过氧源调控原子层沉积的SnO_x层实现高效稳定的钙钛矿太阳能电池[J]. 发光学报, 2023,44(2):337-345.

XIE Yi, WU Shaohang, GAO Yanyan, et al. Constructing Efficient and Stable Perovskite Solar Cells by Adjusting Atomic-layer-deposited SnO_x Layer via Oxygen Sources[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2023,44(2):337-345.
谢怿, 吴绍航, 高彦艳, 等. 通过氧源调控原子层沉积的SnO_x层实现高效稳定的钙钛矿太阳能电池[J]. 发光学报, 2023,44(2):337-345. DOI： 10.37188/CJL.20220325.

XIE Yi, WU Shaohang, GAO Yanyan, et al. Constructing Efficient and Stable Perovskite Solar Cells by Adjusting Atomic-layer-deposited SnO_x Layer via Oxygen Sources[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2023,44(2):337-345. DOI： 10.37188/CJL.20220325.

摘要

原子层沉积的SnO,x,薄膜具有良好的均匀性和致密性，常被用于提升倒置平面结构钙钛矿太阳能电池的稳定性。而SnO,x,薄膜的特性对器件能量转换效率（Power conversion efficiency，PCE）有着重要影响。本文通过氧源（H,2,O、O,3,）调控SnO,x,薄膜的能级和导电性，提升器件PCE。结果表明，O,3,作为单一氧源的SnO,x,薄膜（记为O,3,‐SnO,x,）具有较优的能级排列；而只有H,2,O作氧源的SnO,x,薄膜（记为H,2,O‐SnO,x,）具有较高的电导率。而采用O,3,和H,2,O混合氧源制备的SnO,x,（记为MIX‐SnO,x,），则兼顾了能级匹配和良好的导电性，有效提升器件的PCE，达到20.9%。不仅如此，得益于SnO,x,薄膜的致密结构，有效避免了外部水氧的入侵和内部材料的分解流失，从而提升了器件稳定性，在85 ℃（氮气气氛）下老化超过646 h仍能维持初始PCE的86%以上。

Abstract

SnO,x, deposited by atomic layer deposition exhibits uniform and dense nature， which is commonly used to improve the stability of inverted planar perovskite solar cells. Meanwhile， the characteristics of SnO,x, films have an essential impact on power conversion efficiency（PCE） of devices. In this paper， the characteristics of atomic-layer-deposited SnO,x, are adjusted by the oxygen sources（H,2,O， O,3,）， including energy level and conductivity， so as to achieve the improvement of PCE of devices. The results show that the SnO,x, film with O,3, as a single oxygen source has good energy level alignment. SnO,x,， which only has water as an oxygen source （denoted H,2,O-SnO,x,）， performs higher electrical conductivity. While， taking advantage of mentioned sources， the SnO,x, （denoted as MIX-SnO,x,） not only obtains good energy level alignment， but also excellent conductivity， which effectively improves the PCE of the devices， reaching 20.9%. Moreover， thanks to the denseness of SnO,x, film， it can largely prevent the ingress of moisture into devices， and also inhibit the decomposition of perovskite， dramatically enhancing the stability of perovskite solar cells， which can retain 86% of initial PCE after aging at 85 ℃ （nitrogen atmosphere） for more than 646 h.

关键词

钙钛矿太阳能电池原子层沉积氧源调控SnOx

Keywords

perovskite solar cellsatomic layer depositionoxygen resources adjustmentSnOx

references

BOYD C C， CHEACHAROEN R， LEIJTENS T， et al. Understanding degradation mechanisms and improving stability of perovskite photovoltaics ［J］. Chem. Rev.， 2018， 119（5）： 3418-3451. doi: 10.1021/acs.chemrev.8b00336http://dx.doi.org/10.1021/acs.chemrev.8b00336

ZHOU H P， CHEN Q， LI G， et al. Interface engineering of highly efficient perovskite solar cells ［J］. Science， 2014， 345（6196）： 542-546. doi: 10.1126/science.1254050http://dx.doi.org/10.1126/science.1254050

CHEN W， WU Y Z， YUE Y F， et al. Efficient and stable large-area perovskite solar cells with inorganic charge extraction layers ［J］. Science， 2015， 350（6263）： 944-948. doi: 10.1126/science.aad1015http://dx.doi.org/10.1126/science.aad1015

ERDENEBILEG E， WANG H， LI J， et al. Low-temperature atomic layer deposited electron transport layers for co-evaporated perovskite solar cells ［J］. Solar RRL， 2022， 6（1）： 2100842. doi: 10.1002/solr.202100842http://dx.doi.org/10.1002/solr.202100842

SEO S， JEONG S， PARK H， et al. Atomic layer deposition for efficient and stable perovskite solar cells ［J］. Chem. Commun.， 2019， 55（17）： 2403-2416. doi: 10.1039/c8cc09578ghttp://dx.doi.org/10.1039/c8cc09578g

RAIFORD J A， OYAKHIRE S T， BENT S F. Applications of atomic layer deposition and chemical vapor deposition for perovskite solar cells ［J］. Energy Environ. Sci.， 2020， 13（7）： 1997-2023. doi: 10.1039/d0ee00385ahttp://dx.doi.org/10.1039/d0ee00385a

BRINKMANN K O， ZHAO J， POURDAVOUD N， et al. Suppressed decomposition of organometal halide perovskites by impermeable electron-extraction layers in inverted solar cells ［J］. Nat. Commun.， 2017， 8（1）： 13938-1-9. doi: 10.1038/ncomms13938http://dx.doi.org/10.1038/ncomms13938

SEO S， JEONG S， BAE C， et al. Perovskite solar cells with inorganic electron-and hole-transport layers exhibiting long-term （≈500 h） stability at 85 ℃ under continuous 1 sun illumination in ambient air ［J］. Adv. Mater.， 2018， 30（29）： 1801010-1-8. doi: 10.1002/adma.201801010http://dx.doi.org/10.1002/adma.201801010

XIAO K， LIN Y H， ZHANG M， et al. Scalable processing for realizing 21.7%-efficient all-perovskite tandem solar modules ［J］. Science， 2022， 376（6594）： 762-767. doi: 10.1126/science.abn7696http://dx.doi.org/10.1126/science.abn7696

REN N Y， ZHU C J， LI R J， et al. 50 ℃ low-temperature ALD SnO2 driven by H2O2 for efficient perovskite and perovskite/silicon tandem solar cells ［J］. Appl. Phys. Lett.， 2022， 121（3）： 033502-1-7. doi: 10.1063/5.0091311http://dx.doi.org/10.1063/5.0091311

YOO J J， SEO G， CHUA M R， et al. Efficient perovskite solar cells via improved carrier management ［J］. Nature， 2021， 590（7847）： 587-593. doi: 10.1038/s41586-021-03285-whttp://dx.doi.org/10.1038/s41586-021-03285-w

CHENG H E， TIAN D C， HUANG K C. Properties of SnO2 films grown by atomic layer deposition ［J］. Procedia Eng.， 2012， 36： 510-515. doi: 10.1016/j.proeng.2012.03.074http://dx.doi.org/10.1016/j.proeng.2012.03.074

DU X， DU Y， GEORGE S M. In situ examination of tin oxide atomic layer deposition using quartz crystal microbalance and Fourier transform infrared techniques ［J］. J. Vac. Sci. Technol. A， 2005， 23（4）： 581-588. doi: 10.1116/1.1914810http://dx.doi.org/10.1116/1.1914810

ELAM J W， BAKER D A， HRYN A J， et al. Atomic layer deposition of tin oxide films using tetrakis （dimethylamino） tin ［J］. J. Vac. Sci. Technol. A， 2008， 26（2）： 244-252. doi: 10.1116/1.2835087http://dx.doi.org/10.1116/1.2835087

HU T， BECKER T， POURDAVOUD N， et al. Indium-free perovskite solar cells enabled by impermeable tin-oxide electron extraction layers ［J］. Adv. Mater.， 2017， 29（27）： 1606656-1-9. doi: 10.1002/adma.201606656http://dx.doi.org/10.1002/adma.201606656

LEE J H， YOO M， KANG D H， et al. Selective SnOx atomic layer deposition driven by oxygen reactants ［J］. ACS Appl. Mater. Interfaces， 2018， 10（39）： 33335-33342. doi: 10.1021/acsami.8b12251http://dx.doi.org/10.1021/acsami.8b12251

MULLINGS M N， HÄGGLUND C， BENT S F. Tin oxide atomic layer deposition from tetrakis （dimethylamino） tin and water ［J］. J. Vac. Sci. Technol. A， 2013， 31（6）： 061503-1-8. doi: 10.1116/1.4812717http://dx.doi.org/10.1116/1.4812717

MACKUS A J M， MACISAAC C， KIM W H， et al. Incomplete elimination of precursor ligands during atomic layer deposition of zinc-oxide， tin-oxide， and zinc-tin-oxide ［J］. J. Chem. Phys.， 2017， 146（5）： 052802-1-11. doi: 10.1063/1.4961459http://dx.doi.org/10.1063/1.4961459

CHOI D W， MAENG W J， PARK J S. The conducting tin oxide thin films deposited via atomic layer deposition using Tetrakis-dimethylamino tin and peroxide for transparent flexible electronics ［J］. Appl. Surf. Sci.， 2014， 313： 585-590. doi: 10.1016/j.apsusc.2014.06.027http://dx.doi.org/10.1016/j.apsusc.2014.06.027

CHOI D W， PARK J S. Highly conductive SnO2 thin films deposited by atomic layer deposition using tetrakis-dimethyl-amine-tin precursor and ozone reactant ［J］. Surf. Coat. Technol.， 2014， 259： 238-243. doi: 10.1016/j.surfcoat.2014.02.012http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2014.02.012

LI F M， SHEN Z T， WENG Y J， et al. Novel electron transport layer material for perovskite solar cells with over 22% efficiency and long-term stability ［J］. Adv. Funct. Mater.， 2020， 30（45）： 2004933-1-9. doi: 10.1002/adfm.202004933http://dx.doi.org/10.1002/adfm.202004933

LEE M， KIM D， LEE Y K， et al. Indene-C60 bisadduct electron-transporting material with the high LUMO level enhances open-circuit voltage and efficiency of tin-based perovskite solar cells ［J］. ACS Appl. Energy Mater.， 2020， 3（6）： 5581-5588. doi: 10.1021/acsaem.0c00535http://dx.doi.org/10.1021/acsaem.0c00535

XU C Q， ZHANG Y W， LUO P F， et al. Comparative study on TiO2 and C60 electron transport layers for efficient perovskite solar cells ［J］. ACS Appl. Energy Mater.， 2021， 4（6）： 5543-5553. doi: 10.1021/acsaem.1c00226http://dx.doi.org/10.1021/acsaem.1c00226

MACCO B， WU Y， VANHEMEL D， et al. High mobility In2O3∶H transparent conductive oxides prepared by atomic layer deposition and solid phase crystallization ［J］. Phys. Status Solidi （RRL）‐Rapid Res. Lett.， 2014， 8（12）： 987-990. doi: 10.1002/pssr.201409426http://dx.doi.org/10.1002/pssr.201409426

KOIDA T， SAI H， KONDO M. In2O3∶H transparent conductive oxide films with high mobility and near infrared transparency for optoelectronic applications ［J］. Surf. Eng.， 2012， 28（2）： 102-107. doi: 10.1179/1743294411y.0000000053http://dx.doi.org/10.1179/1743294411y.0000000053

SUCKOW S. 2/3-Diode Fit ［EB/OL］. 2014-12-03. https：//nanohub.org/resources/14300https://nanohub.org/resources/14300.

BERHE T A， SU W N， CHEN C H， et al. Organometal halide perovskite solar cells： degradation and stability ［J］. Energy Environ. Sci.， 2016， 9（2）： 323-356. doi: 10.1039/c5ee02733khttp://dx.doi.org/10.1039/c5ee02733k

CONINGS B， DRIJKONINGEN J， GAUQUELIN N， et al. Intrinsic thermal instability of methylammonium lead trihalide perovskite ［J］. Adv. Energy Mater.， 2015， 5（15）： 1500477-1-8. doi: 10.1002/aenm.201500477http://dx.doi.org/10.1002/aenm.201500477

DUNFIELD S P， BLISS L， ZHANG F， et al. From defects to degradation： a mechanistic understanding of degradation in perovskite solar cell devices and modules ［J］. Adv. Energy Mater.， 2020， 10（26）： 1904054-1-35. doi: 10.1002/aenm.201904054http://dx.doi.org/10.1002/aenm.201904054

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