通过氧源调控原子层沉积的SnO<italic style="font-style: italic"><sub>x</sub></italic>层实现高效稳定的钙钛矿太阳能电池

谢怿; 吴绍航; 高彦艳; 刘雅晴; 郭日朗; 麦耀华

doi:10.37188/CJL.20220325

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通过氧源调控原子层沉积的SnO_x层实现高效稳定的钙钛矿太阳能电池

器件制备及器件物理 | 更新时间：2026-09-12

- 通过氧源调控原子层沉积的SnO_x层实现高效稳定的钙钛矿太阳能电池
  增强出版
- Constructing Efficient and Stable Perovskite Solar Cells by Adjusting Atomic-layer-deposited SnO_x Layer via Oxygen Sources
- 发光学报 2023年44卷第2期页码：337-345
- 作者机构：
  
  暨南大学信息科学技术学院，新能源技术研究院，广东广州　510632
- 作者简介：
  
  谢怿（1997-），男，广东湛江人，硕士研究生，2020年于天津理工大学获得学士学位，主要从事钙钛矿太阳能电池中原子层沉积的研究。E-mail： sayie210@163.com
  吴绍航（1987-），男，广西贵港人，博士，副研究员，2015年于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所获得博士学位，主要从事高效稳定的钙钛矿太阳电池的研究。E-mail： wushaohang@jnu.edu.cn
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金青年项目(62005099);广东省基础与应用基础研究基金项目（粤佛联合基金重点项目）(2021B1515120003)
- DOI：10.37188/CJL.20220325
  中图分类号： TM914.4
- 收稿：2022-09-06，
  
  修回：2022-09-26，
  
  纸质出版：2023-02-05
- 稿件说明：
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谢怿,吴绍航,高彦艳等.通过氧源调控原子层沉积的SnO_x层实现高效稳定的钙钛矿太阳能电池[J].发光学报,2023,44(02):337-345. DOI: 10.37188/CJL.20220325.

XIE Yi,WU Shaohang,GAO Yanyan,et al.Constructing Efficient and Stable Perovskite Solar Cells by Adjusting Atomic-layer-deposited SnO_x Layer via Oxygen Sources[J].Chinese Journal of Luminescence,2023,44(02):337-345. DOI: 10.37188/CJL.20220325.
谢怿,吴绍航,高彦艳等.通过氧源调控原子层沉积的SnO_x层实现高效稳定的钙钛矿太阳能电池[J].发光学报,2023,44(02):337-345. DOI: 10.37188/CJL.20220325. DOI：

XIE Yi,WU Shaohang,GAO Yanyan,et al.Constructing Efficient and Stable Perovskite Solar Cells by Adjusting Atomic-layer-deposited SnO_x Layer via Oxygen Sources[J].Chinese Journal of Luminescence,2023,44(02):337-345. DOI: 10.37188/CJL.20220325. DOI：

摘要

原子层沉积的SnO

薄膜具有良好的均匀性和致密性，常被用于提升倒置平面结构钙钛矿太阳能电池的稳定性。而SnO

薄膜的特性对器件能量转换效率（Power conversion efficiency，PCE）有着重要影响。本文通过氧源（H

O、O

）调控SnO

薄膜的能级和导电性，提升器件PCE。结果表明，O

作为单一氧源的SnO

薄膜（记为O

‐SnO

）具有较优的能级排列；而只有H

O作氧源的SnO

薄膜（记为H

O‐SnO

）具有较高的电导率。而采用O

和H

O混合氧源制备的SnO

（记为MIX‐SnO

），则兼顾了能级匹配和良好的导电性，有效提升器件的PCE，达到20.9%。不仅如此，得益于SnO

薄膜的致密结构，有效避免了外部水氧的入侵和内部材料的分解流失，从而提升了器件稳定性，在85 ℃（氮气气氛）下老化超过646 h仍能维持初始PCE的86%以上。

Abstract

SnO

deposited by atomic layer deposition exhibits uniform and dense nature， which is commonly used to improve the stability of inverted planar perovskite solar cells. Meanwhile， the characteristics of SnO

films have an essential impact on power conversion efficiency（PCE） of devices. In this paper， the characteristics of atomic-layer-deposited SnO

are adjusted by the oxygen sources（H

O， O

）， including energy level and conductivity， so as to achieve the improvement of PCE of devices. The results show that the SnO

film with O

as a single oxygen source has good energy level alignment. SnO

， which only has water as an oxygen source （denoted H

O-SnO

）， performs higher electrical conductivity. While， taking advantage of mentioned sources， the SnO

（denoted as MIX-SnO

） not only obtains good energy level alignment， but also excellent conductivity， which effectively improves the PCE of the devices， reaching 20.9%. Moreover， thanks to the denseness of SnO

film， it can largely prevent the ingress of moisture into devices， and also inhibit the decomposition of perovskite， dramatically enhancing the stability of perovskite solar cells， which can retain 86% of initial PCE after aging at 85 ℃ （nitrogen atmosphere） for more than 646 h.

关键词

Keywords

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Constructing Efficient and Stable Perovskite Solar Cells by Adjusting Atomic-layer-deposited SnO_x Layer via Oxygen Sources