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高厚度n型β-Ga2O3薄膜的MOCVD制备
材料合成及性能 | 更新时间:2022-04-20
    • 高厚度n型β-Ga2O3薄膜的MOCVD制备

      增强出版
    • Preparation of n-type β-Ga2O3 Film with High Thickness by MOCVD

    • 发光学报   2022年43卷第4期 页码:545-551
    • DOI:10.37188/CJL.20210398    

      中图分类号:

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  • 李政达, 焦腾, 董鑫, 等. 高厚度n型β-Ga2O3薄膜的MOCVD制备[J]. 发光学报, 2022,43(4):545-551. DOI: 10.37188/CJL.20210398.

    Zheng-da LI, Teng JIAO, Xin DONG, et al. Preparation of n-type β-Ga2O3 Film with High Thickness by MOCVD[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2022,43(4):545-551. DOI: 10.37188/CJL.20210398.

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