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RIE技术制备p-n结型GaN蓝光LEDs
论文 | 更新时间:2020-08-11
    • RIE技术制备p-n结型GaN蓝光LEDs

    • RIE ETCHING AND FABRICATING OF GaN p-n JUNCTION BLUE LEDS

    • 发光学报   1999年20卷第1期 页码:94-96
    • 纸质出版日期:1999-2-28

      收稿日期:1998-9-2

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  • 章其麟, 张冀, 赵永军, 李云, 梁春广, 刘燕飞, 杨瑞林. RIE技术制备p-n结型GaN蓝光LEDs[J]. 发光学报, 1999,20(1): 94-96 DOI:

    Zhang Qilin, Zhang Ji, Zhao Yongjun, Li Yun, Liang Chunguang, Liu Yanfei, Yang Ruilin. RIE ETCHING AND FABRICATING OF GaN p-n JUNCTION BLUE LEDS[J]. Chinese Journal of Luminescence, 1999,20(1): 94-96 DOI:

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