1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发光学及应用国家重点实验室, 吉林 长春 130033
2.中国科学院大学 材料科学与光电工程中心, 北京 100049
3.北京北方华创微电子装备有限公司, 北京 100049
[ "隋佳恩(1995-),男,山东威海人,硕士研究生, 2018年于山东大学获得学士学位,主要从事宽禁带半导体材料生长的研究。E-mail: suijiaen18@mails.ucac.ac.cn" ]
隋佳恩(1995-),男,山东威海人,硕士研究生, 2018年于山东大学获得学士学位,主要从事宽禁带半导体材料生长的研究。E-mail: suijiaen18@mails.ucac.ac.cn
[ "孙晓娟(1981-),女,辽宁朝阳人,博士,研究员,2012年于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所获得博士学位,主要从事氮化物宽禁带半导体材料与光电器件的研究。E-mail: sunxj@ciomp.ac.cn" ]
孙晓娟(1981-),女,辽宁朝阳人,博士,研究员,2012年于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所获得博士学位,主要从事氮化物宽禁带半导体材料与光电器件的研究。E-mail: sunxj@ciomp.ac.cn
纸质出版日期:2021-06-01,
收稿日期:2021-03-26,
修回日期:2021-04-22,
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引用本文
隋佳恩, 贲建伟, 臧行, 等. 高温热处理
Jia-en SUI, Jian-wei BEN, Hang ZANG, et al. Mechanism of
隋佳恩, 贲建伟, 臧行, 等. 高温热处理
Jia-en SUI, Jian-wei BEN, Hang ZANG, et al. Mechanism of
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