1.上海大学 材料科学与工程学院, 上海 200444
2.中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 纳米器件与应用重点实验室, 江苏 苏州 215123
[ "郭孝浩(1996-),男,河南信阳人,硕士研究生,2018年于江南大学获得学士学位,主要从事GaN基激光器器件与工艺的研究。E-mail: xhguo2019@sinano.ac.cn" ]
郭孝浩(1996-),男,河南信阳人,硕士研究生,2018年于江南大学获得学士学位,主要从事GaN基激光器器件与工艺的研究。E-mail: xhguo2019@sinano.ac.cn
[ "刘建平(1976-),男,江西上饶人,博士,研究员,博士研究生导师,2004年于中国科学院半导体研究所获得博士学位,主要从事氮化物半导体材料与器件以及MOCVD外延生长的研究。E-mail:jpliu2010@sinano.ac.cn" ]
刘建平(1976-),男,江西上饶人,博士,研究员,博士研究生导师,2004年于中国科学院半导体研究所获得博士学位,主要从事氮化物半导体材料与器件以及MOCVD外延生长的研究。E-mail:jpliu2010@sinano.ac.cn
纸质出版日期:2021-06-01,
收稿日期:2021-01-23,
修回日期:2021-02-18,
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引用本文
郭孝浩, 胡磊, 任霄钰, 等. GaN基光栅的干法刻蚀工艺[J]. 发光学报, 2021, 42(6):889-895.
Xiao-hao GUO, Lei HU, Xiao-yu REN, et al. Fabrication of GaN-based Grating by Optimized Inductively Coupled Plasma Etching[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2021, 42(6):889-895.
郭孝浩, 胡磊, 任霄钰, 等. GaN基光栅的干法刻蚀工艺[J]. 发光学报, 2021, 42(6):889-895. DOI: 10.37188/CJL.20210037.
Xiao-hao GUO, Lei HU, Xiao-yu REN, et al. Fabrication of GaN-based Grating by Optimized Inductively Coupled Plasma Etching[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2021, 42(6):889-895. DOI: 10.37188/CJL.20210037.
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