1.五邑大学 应用物理与材料学院, 广东 江门 529020
2.广东省科学院 中乌焊接研究所, 广东 广州 510651
[ "赵晶晶(1997-),女,山西晋中人,硕士研究生,2020年于大同大学获得学士学位,主要从事超宽禁带半导体材料的研究。E‐mail: 1509518959@qq.com" ]
赵晶晶(1997-),女,山西晋中人,硕士研究生,2020年于大同大学获得学士学位,主要从事超宽禁带半导体材料的研究。E‐mail: 1509518959@qq.com
[ "王海燕(1992-),女,广东广州人,博士,工程师,硕士生导师,2018年于华南理工大学获得博士学位,主要从事氮化物及氧化物半导体薄膜生长及器件制备的研究。E‐mail:wang_haiyan09@163. com" ]
王海燕(1992-),女,广东广州人,博士,工程师,硕士生导师,2018年于华南理工大学获得博士学位,主要从事氮化物及氧化物半导体薄膜生长及器件制备的研究。E‐mail:wang_haiyan09@163. com
[ "杨为家(1980-),男,广西桂平人,博士,副教授,硕士生导师,2016年于华南理工大学获得博士学位,主要从事ⅢⅤ族、氧化物薄膜材料与器件的研究。E‐mail:yangweijia5377@126. com" ]
杨为家(1980-),男,广西桂平人,博士,副教授,硕士生导师,2016年于华南理工大学获得博士学位,主要从事ⅢⅤ族、氧化物薄膜材料与器件的研究。E‐mail:yangweijia5377@126. com
纸质出版日期:2022-08-05,
收稿日期:2022-04-11,
修回日期:2022-04-21,
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引用本文
赵晶晶,刘丽华,秦彬皓等.高真空磁控溅射温度对Ga2O3微观结构及光学性能的影响[J].发光学报,2022,43(08):1236-1243.
ZHAO Jing-jing,LIU Li-hua,QIN Bin-hao,et al.Effect of Sputtering Temperature on Microstructural and Optical Properties of Gallium Oxide Deposited by High-vacuum Magnetron Sputtering[J].Chinese Journal of Luminescence,2022,43(08):1236-1243.
赵晶晶,刘丽华,秦彬皓等.高真空磁控溅射温度对Ga2O3微观结构及光学性能的影响[J].发光学报,2022,43(08):1236-1243. DOI: 10.37188/CJL.20220131.
ZHAO Jing-jing,LIU Li-hua,QIN Bin-hao,et al.Effect of Sputtering Temperature on Microstructural and Optical Properties of Gallium Oxide Deposited by High-vacuum Magnetron Sputtering[J].Chinese Journal of Luminescence,2022,43(08):1236-1243. DOI: 10.37188/CJL.20220131.
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