1.中国科学院半导体研究所 半导体材料科学重点实验室, 北京 100083
2.中国科学院大学 材料与光电研究中心, 北京 100049
[ "牛慧丹(1994-),女,河北邢台人,博士研究生,2019年于中国科学院大学国家纳米科学中心获得硕士学位,主要从事基于宽禁带半导体材料的设备与制备的研究。E-mail: niuhuidan@semi.ac.cn" ]
牛慧丹(1994-),女,河北邢台人,博士研究生,2019年于中国科学院大学国家纳米科学中心获得硕士学位,主要从事基于宽禁带半导体材料的设备与制备的研究。E-mail: niuhuidan@semi.ac.cn
[ "杨少延(1973-),男,黑龙江桦南县人,博士,研究员,博士研究生导师,2006年于中国科学院半导体研究所获得博士学位,主要从事宽禁带和超宽禁带半导体材料、器件及物理的研究。E-mail: sh-yyang@semi.ac.cn" ]
杨少延(1973-),男,黑龙江桦南县人,博士,研究员,博士研究生导师,2006年于中国科学院半导体研究所获得博士学位,主要从事宽禁带和超宽禁带半导体材料、器件及物理的研究。E-mail: sh-yyang@semi.ac.cn
[ "刘祥林(1965-),男,湖南岳阳人,博士,副研究员,1999年于中国科学院半导体研究所获得博士学位。主要从事氮化镓材料、器件及物理的研究。E-mail: xlliu@semi.ac.cn" ]
刘祥林(1965-),男,湖南岳阳人,博士,副研究员,1999年于中国科学院半导体研究所获得博士学位。主要从事氮化镓材料、器件及物理的研究。E-mail: xlliu@semi.ac.cn
纸质出版日期:2021-11-01,
收稿日期:2021-08-30,
修回日期:2021-09-10,
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引用本文
牛慧丹, 孔苏苏, 杨少延, 等. 温度对氮化铝表面形貌的调控及演化机理[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2021, 42(11):1739-1747.
Hui-dan NIU, Su-su KONG, Shao-yan YANG, et al. Temperature Dependence and Evolution Mechanism of Aluminum Nitride Morphologies[J]. 发光学报, 2021, 42(11):1739-1747.
牛慧丹, 孔苏苏, 杨少延, 等. 温度对氮化铝表面形貌的调控及演化机理[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2021, 42(11):1739-1747. DOI: 10.37188/CJL.20210287.
Hui-dan NIU, Su-su KONG, Shao-yan YANG, et al. Temperature Dependence and Evolution Mechanism of Aluminum Nitride Morphologies[J]. 发光学报, 2021, 42(11):1739-1747. DOI: 10.37188/CJL.20210287.
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