L'étude a porté sur l'impact de la technologie de recuit thermique composite NH₃/N₂ sur la qualité cristalline, les propriétés lumineuses et la conductivité du matériau GaN fortement dopé au Mg. Les résultats expérimentaux montrent que, par comparaison avec la technologie de recuit thermique à haute température traditionnelle dans une atmosphère N₂, l'utilisation de la technologie de recuit thermique à haute température dans une atmosphère NH₃ peut améliorer la qualité cristalline du matériau GaN fortement dopé au Mg, tout en améliorant efficacement le dopage des atomes de Mg, ce qui entraîne une augmentation de l'intensité du pic bleu dans le spectre de photoluminescence. L'utilisation de la technologie de recuit thermique composite dans une atmosphère NH₃ combinée à la technologie de recuit thermique à basse température dans une atmosphère N₂ réduit considérablement la concentration en électrons de fond à l'intérieur du matériau GaN fortement dopé au Mg. Cela est dû au fait que, lors du recuit thermique dans une atmosphère NH₃, les produits de décomposition thermique de NH₃ réduisent efficacement la concentration de défauts de surface tels que les lacunes d'azote et les atomes de type échelle de Ga dans le matériau, ce qui améliore finalement la conductivité du matériau GaN fortement dopé au Mg.

nitrure de gallium; dopage au magnésium; traitement thermique; ammoniac