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基于直流磁控溅射VO2薄膜的高效近红外光电探测器
更新时间：2025-06-05

    • 基于直流磁控溅射VO2薄膜的高效近红外光电探测器

    • DC magnetron-sputtered VO2 thin films: towards high-performance near-infrared photodetectors

    • “在近红外光电探测领域，采用直流磁控溅射金属钒靶材结合退火工艺成功制备单斜相VO2薄膜，构筑的MSM结构近红外光电探测器展现出优异光电响应性能，为该领域研究提供新方向。”
    • 发光学报   2025年 页码：1-10

    • DOI：10.37188/CJL.20250148    

      中图分类号： O482.31
    • CSTR：32170.14.CJL.20250148    

    • 网络出版日期：2025-06-05，

    移动端阅览

  • 杨琪,曾敏,周文祺等.基于直流磁控溅射VO2薄膜的高效近红外光电探测器[J].发光学报, DOI：10.37188/CJL.20250148 CSTR： 32170.14.CJL.20250148.

    YANG Qi,ZENG Ming,ZHOU Wen-qi,et al.DC magnetron-sputtered VO2 thin films: towards high-performance near-infrared photodetectors[J].Chinese Journal of Luminescence, DOI：10.37188/CJL.20250148 CSTR： 32170.14.CJL.20250148.

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