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4H-SiC衬底上生长参数对AlGaN基深紫外多量子阱受激辐射特性的影响
材料合成及性能 | 更新时间:2024-07-10
    • 4H-SiC衬底上生长参数对AlGaN基深紫外多量子阱受激辐射特性的影响

      增强出版
    • Effects of Growth Parameters on Stimulated Emission Characteristics of AlGaN-based Deep Ultraviolet Multiple Quantum Wells on 4H-SiC Substrates

    • 在深紫外激光器领域,研究人员通过优化AlGaN/AlN多量子阱生长参数,显著提升了内量子效率和激光性能。"SiC衬底是制备高性能AlGaN基深紫外激光器的良好候选衬底",通过金属有机化学气相沉积方法在4H-SiC衬底上成功生长了深紫外AlGaN/AlN多量子阱结构(MQWs),并系统研究了生长参数对激光结构的影响。优化后的MQWs内量子效率达到74.1%,室温下激射阈值光功率密度和线宽分别降至889 kW/cm2和1.39 nm,发光波长为248.8 nm。这一成果为深紫外激光器的研制提供了重要参考和指导。
    • 发光学报   2024年45卷第6期 页码:894-904
    • DOI:10.37188/CJL.20240080    

      中图分类号: O482.31
    • 纸质出版日期:2024-06-25

      收稿日期:2024-03-26

      修回日期:2024-04-10

    扫 描 看 全 文

  • 张睿洁,郭亚楠,吴涵等.4H-SiC衬底上生长参数对AlGaN基深紫外多量子阱受激辐射特性的影响[J].发光学报,2024,45(06):894-904. DOI: 10.37188/CJL.20240080.

    ZHANG Ruijie,GUO Yanan,WU Han,et al.Effects of Growth Parameters on Stimulated Emission Characteristics of AlGaN-based Deep Ultraviolet Multiple Quantum Wells on 4H-SiC Substrates[J].Chinese Journal of Luminescence,2024,45(06):894-904. DOI: 10.37188/CJL.20240080.

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