MSM结构ZnO紫外探测器的制备与性质

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MSM结构ZnO紫外探测器的制备与性质

半导体发光、激光和光电性质 | 更新时间：2020-08-12

- MSM结构ZnO紫外探测器的制备与性质
- Fabrication and Properties of ZnO MSM UV Detectors
- 发光学报 2008年29卷第6期页码：1027-1030
- 作者机构：
  
  1. 长春理工大学, 高功率半导体激光国家重点实验室
  2. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 激发态物理重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家重点基金(50532050)();国家“973”计划(2008CB307105,2006CB604906)();国家自然科学基金(60676059,60506014
- DOI：
  中图分类号： O472.8
- 收稿：2008-05-22，
  
  修回：2008-8-24，
  
  纸质出版：2008-11-20
- 稿件说明：
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赵春雨, 张吉英, 王晓华, 申德振, 姚斌, 赵东旭, 张振中, 李炳辉. MSM结构ZnO紫外探测器的制备与性质[J]. 发光学报, 2008,29(6): 1027-1030

ZHAO Chun-yu, ZHANG Ji-ying, WANG Xiao-hua, LU You-ming, SHEN De-zhen, YAO Bin, ZHAO Dong-xu, ZHANG Zhen-zhong, LI Bing-hui. Fabrication and Properties of ZnO MSM UV Detectors[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2008,29(6): 1027-1030
赵春雨, 张吉英, 王晓华, 申德振, 姚斌, 赵东旭, 张振中, 李炳辉. MSM结构ZnO紫外探测器的制备与性质[J]. 发光学报, 2008,29(6): 1027-1030 DOI：

ZHAO Chun-yu, ZHANG Ji-ying, WANG Xiao-hua, LU You-ming, SHEN De-zhen, YAO Bin, ZHAO Dong-xu, ZHANG Zhen-zhong, LI Bing-hui. Fabrication and Properties of ZnO MSM UV Detectors[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2008,29(6): 1027-1030 DOI：

采用射频磁控溅射在石英衬底上制备了c轴择优取向的ZnO薄膜

利用蚀刻技术制备了MSM结构的光导型紫外探测器.在3V偏压下

器件的暗电流小于250nA

光响应峰值在370nm

响应度是0.3A/W.其紫外(360nm)与可见光(20nm)的抑制比为个数量级.器件的光响应时间上沿仅为20ns.

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