柔性有机电致发光器件导电基板的工艺性能

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柔性有机电致发光器件导电基板的工艺性能

无机、有机电致发光 | 更新时间：2020-08-12

- 柔性有机电致发光器件导电基板的工艺性能
- Fabrication and Property of Conductive Substrate for Flexible Organic Light-emitting Devices
- 发光学报 2008年29卷第6期页码：967-972
- 作者机构：
  
  电子科技大学光电信息学院, 电子薄膜与集成器件国家重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家杰出青年基金(60425101)();教育部新世纪优秀人才计划(NCET-06-0812)();电子科技大学中青年学术带头人计划(060206)资助项目()
- DOI：
  中图分类号： TN383.1;TN873.3
- 收稿：2008-01-18，
  
  修回：2008-2-20，
  
  纸质出版：2008-11-20
- 稿件说明：
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王娜娜, 于军胜, 林慧, 黄春华, 蒋亚东. 柔性有机电致发光器件导电基板的工艺性能[J]. 发光学报, 2008,29(6): 967-972

WANG Na-na, YU Jun-sheng, LIN Hui, HUANG Chun-hua, JIANG Ya-dong. Fabrication and Property of Conductive Substrate for Flexible Organic Light-emitting Devices[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2008,29(6): 967-972
王娜娜, 于军胜, 林慧, 黄春华, 蒋亚东. 柔性有机电致发光器件导电基板的工艺性能[J]. 发光学报, 2008,29(6): 967-972 DOI：

WANG Na-na, YU Jun-sheng, LIN Hui, HUANG Chun-hua, JIANG Ya-dong. Fabrication and Property of Conductive Substrate for Flexible Organic Light-emitting Devices[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2008,29(6): 967-972 DOI：

在聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)柔性衬底上采用直流磁控溅射技术制备了氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜

研究了衬底温度、溅射功率和溅射压强等工艺条件对薄膜光电性能的影响

并利用原子力显微镜(AFM)表征了衬底及ITO薄膜的表面形貌.结果表明

在PET衬底温度50℃、溅射功率100W和溅射压强2.66

#215;10

-1

Pa的条件下

可以得到低方阻(50Ω/

#9633;)和高透过率(＞90%)的透明导电薄膜.以此柔性ITO衬底为阳极

制备了结构为PET/ITO/NPB/Alq

/Mg:Ag的柔性有机电致发光器件

在驱动电压为13V时

器件的发光亮度达到了2834cd/m

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CSCD

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