柔性有机电致发光器件导电基板的工艺性能

王娜娜; 于军胜; 林慧; 黄春华; 蒋亚东

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柔性有机电致发光器件导电基板的工艺性能

无机、有机电致发光 | 更新时间：2020-08-12

- 柔性有机电致发光器件导电基板的工艺性能
- Fabrication and Property of Conductive Substrate for Flexible Organic Light-emitting Devices
- 发光学报 2008年29卷第6期页码：967-972
- 作者机构：
  
  电子科技大学光电信息学院, 电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川成都,610054
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家杰出青年基金(60425101)();教育部新世纪优秀人才计划(NCET-06-0812)();电子科技大学中青年学术带头人计划(060206)资助项目()
- DOI：
  中图分类号： TN383.1;TN873.3
- 纸质出版日期：2008-11-20，
  
  收稿日期：2008-1-18，
  
  修回日期：2008-2-20，
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王娜娜, 于军胜, 林慧, 黄春华, 蒋亚东. 柔性有机电致发光器件导电基板的工艺性能[J]. 发光学报, 2008,29(6): 967-972

WANG Na-na, YU Jun-sheng, LIN Hui, HUANG Chun-hua, JIANG Ya-dong. Fabrication and Property of Conductive Substrate for Flexible Organic Light-emitting Devices[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2008,29(6): 967-972
王娜娜, 于军胜, 林慧, 黄春华, 蒋亚东. 柔性有机电致发光器件导电基板的工艺性能[J]. 发光学报, 2008,29(6): 967-972 DOI：

WANG Na-na, YU Jun-sheng, LIN Hui, HUANG Chun-hua, JIANG Ya-dong. Fabrication and Property of Conductive Substrate for Flexible Organic Light-emitting Devices[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2008,29(6): 967-972 DOI：

摘要

在聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)柔性衬底上采用直流磁控溅射技术制备了氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜

研究了衬底温度、溅射功率和溅射压强等工艺条件对薄膜光电性能的影响

并利用原子力显微镜(AFM)表征了衬底及ITO薄膜的表面形貌.结果表明

在PET衬底温度50℃、溅射功率100W和溅射压强2.66×10

-1

Pa的条件下

可以得到低方阻(50Ω/□)和高透过率(＞90%)的透明导电薄膜.以此柔性ITO衬底为阳极

制备了结构为PET/ITO/NPB/Alq

/Mg:Ag的柔性有机电致发光器件

在驱动电压为13V时

器件的发光亮度达到了2834cd/m

Abstract

Indium-tin oxide (ITO) film on flexible polyethylene terephthalate (PET) substrateswere prepared by DC magnetron sputtering deposition method.The effects of substrate temperature

sputtering power and pressure on ITO film propertieswere investigated.The results shown that ITO filmswith a low square resistivity of 50Ω/□ and a high transmittance in visible region over 90% can be achieved ata DC power of 100W

working pressure of 2.66×10

-1

Pa and substrate temperature of 50℃.Using the fabricated flexible ITO substrate as the anode

the organic light-emitting device consisting of PET/ITO/NPB/Alq

/Mg:Ag is fabricated.The obtained FOLEDs have amaximum luminance of 2834 cd/m

at 13 V.

关键词

有机电致发光器件柔性基板氧化铟锡薄膜直流磁控溅射

Keywords

organic light-emitting devices (OELDs)flexible substrateITO thin filmsDCmagnetron sputtering

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