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CVD法制备硅基氮化镓薄膜
第八届全国发光学学术会议研究论文 | 更新时间：2020-08-11

    • CVD法制备硅基氮化镓薄膜

    • Synthesis and Characterization of the GaN Film

    • 发光学报   2008年29卷第1期 页码：152-155
    • 中图分类号： TN304;O482.31

    • 收稿：2007-08-25，

      修回：2007-11-24，

      纸质出版：2008-01-20

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  • 王连红, 梁建, 马淑芳, 刘旭光, 许并社. CVD法制备硅基氮化镓薄膜[J]. 发光学报, 2008,29(1): 152-155 DOI：

    WANG Lian-hong, LIANG Jian, MA Shu-fang, LIU Xu-guang. Synthesis and Characterization of the GaN Film[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2008,29(1): 152-155 DOI：

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