范德堡方法在ZnO薄膜测试中的应用

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范德堡方法在ZnO薄膜测试中的应用

研究论文 | 更新时间：2020-08-11

- 范德堡方法在ZnO薄膜测试中的应用
- Van der Pauw Method in the Test of ZnO Film
- 发光学报 2004年25卷第3期页码：317-319
- 作者机构：
  
  1. 中国科学技术大学, 物理系
  2. 中国科学院结构分析重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金(10174072,5014206)();国家自然科学基金重点项目(90201038)资助项目()
- DOI：
  中图分类号： O472.3
- 收稿：2003-03-18，
  
  修回：2003-5-12，
  
  纸质出版：2004-05-20
- 稿件说明：
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朱俊杰, 刘磁辉, 林碧霞, 谢家纯, 傅竹西. 范德堡方法在ZnO薄膜测试中的应用[J]. 发光学报, 2004,25(3): 317-319

ZHU Jun-jie, LIU Ci-hui, LIN Bi-xia, XIE Jia-chun, FU Zhu-xi. Van der Pauw Method in the Test of ZnO Film[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2004,25(3): 317-319
朱俊杰, 刘磁辉, 林碧霞, 谢家纯, 傅竹西. 范德堡方法在ZnO薄膜测试中的应用[J]. 发光学报, 2004,25(3): 317-319 DOI：

ZHU Jun-jie, LIU Ci-hui, LIN Bi-xia, XIE Jia-chun, FU Zhu-xi. Van der Pauw Method in the Test of ZnO Film[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2004,25(3): 317-319 DOI：

近年来

随着对宽禁带半导体材料

氧化锌薄膜研究的快速发展

对其电学性质的研究也显得尤为重要。主要介绍范德堡方法在ZnO薄膜电学性质测量中的应用

并对初步测量结果作简要的讨论。

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