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射频磁控溅射法制备ZnO薄膜的绿光发射
研究论文 | 更新时间：2020-08-11

    • 射频磁控溅射法制备ZnO薄膜的绿光发射

    • Green Photoluminescence Emitted from ZnO Films Deposited by r. f. Magnetron Sputtering

    • 发光学报   2004年25卷第3期 页码：291-294
    • 中图分类号： O472.3

    • 收稿：2003-03-18，

      纸质出版：2004-05-20

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  • 王卿璞, 张德恒, 马洪磊, 张兴华, 张锡健. 射频磁控溅射法制备ZnO薄膜的绿光发射[J]. 发光学报, 2004,25(3): 291-294 DOI：

    WANG Qing-pu, ZHANG De-heng, MA Hong-lei, ZHANG Xing-hua, ZHANG Xi-jian. Green Photoluminescence Emitted from ZnO Films Deposited by r. f. Magnetron Sputtering[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2004,25(3): 291-294 DOI：

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