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氧和氩等离子辅助电子束蒸发制备高质量ZnO薄膜
研究论文 | 更新时间：2020-08-11

    • 氧和氩等离子辅助电子束蒸发制备高质量ZnO薄膜

    • High Quality ZnO Thin Films Prepared by O2 and Ar Plasma-assisted E-beam Evaporation

    • 发光学报   2003年24卷第3期 页码：284-288
    • 中图分类号： O472.3

    • 收稿：2002-07-30，

      修回：2003-11-20，

      纸质出版：2003-05-20

    移动端阅览

  • 汤庆鑫, 路丽霞, 齐秀英, 钟殿强, 初国强, 刘益春. 氧和氩等离子辅助电子束蒸发制备高质量ZnO薄膜[J]. 发光学报, 2003,24(3): 284-288 DOI：

    TANG Qing-xin, LU Li-xia, QI Xiu-ying, ZHONG Dian-qiang, CHU Guo-qiang, LIU Yi-chun. High Quality ZnO Thin Films Prepared by O<sub>2</sub> and Ar Plasma-assisted E-beam Evaporation[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2003,24(3): 284-288 DOI：

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哈尔滨师范大学, 物理系
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 激发态物理重点实验室
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吉林大学 电子科学与工程学院， 集成光电子学国家重点联合实验室
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