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射频磁控溅射ZnO薄膜的结构和光学特性
论文 | 更新时间：2020-08-11

    • 射频磁控溅射ZnO薄膜的结构和光学特性

    • Structural and Optical Properties of ZnO Thin Films Grown by RF Reactive Magnetron Sputtering

    • 发光学报   2003年24卷第1期 页码：73-75
    • 中图分类号： O482.31

    • 收稿：2002-07-03，

      修回：2002-10-4，

      纸质出版：2003-01-20

    移动端阅览

  • 张源涛, 李万程, 王金忠, 杨晓天, 马艳, 殷宗友, 杜国同. 射频磁控溅射ZnO薄膜的结构和光学特性[J]. 发光学报, 2003,24(1): 73-75 DOI：

    ZHANG Yuan-tao, Li Wan-cheng, WANG Jin-zhong, YANG Xiao-tian, MA Yan, YIN Zhong-you, DU Guo-tong. Structural and Optical Properties of ZnO Thin Films Grown by RF Reactive Magnetron Sputtering[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2003,24(1): 73-75 DOI：

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相关作者

李晓娜
韩立
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李辉
李艳丽
辛增念
薛飞
杜江萍

相关机构

中国科学院电工研究所 太阳能电池技术研究部
中国科学院大学
中国科学院电工研究所 电子束曝光技术研究组
浙江正泰太阳能科技有限公司
江西科技学院 管理学院
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