可实现真空和气氛退火的高精度温控退火炉的研制

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研究论文 | 更新时间：2020-08-11

- 可实现真空和气氛退火的高精度温控退火炉的研制
- Preparation of a Temperature-controlled Annealing Furnace withHigh Precision and the Debugging of the Temperature Control Program
- 发光学报 2002年23卷第6期页码：619-622
- 作者机构：
  
  同济大学, 玻耳固体物理研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金(19774043)();上海市教育委员会重点学科研究项目();青年教师项目(01QN18)();教育部高等学校优秀青年教师教学科研奖励计划(教人司(2
- DOI：
  中图分类号： TN205
- 收稿：2002-03-15，
  
  修回：2002-8-23，
  
  纸质出版：2002-11-20
- 稿件说明：
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梁玲, 顾牡, 许伟群, 陈玲燕. 可实现真空和气氛退火的高精度温控退火炉的研制[J]. 发光学报, 2002,23(6): 619-622

LIANG Ling, GU Mu, XU Wei-qun, CHEN Ling-yan. Preparation of a Temperature-controlled Annealing Furnace withHigh Precision and the Debugging of the Temperature Control Program[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2002,23(6): 619-622
梁玲, 顾牡, 许伟群, 陈玲燕. 可实现真空和气氛退火的高精度温控退火炉的研制[J]. 发光学报, 2002,23(6): 619-622 DOI：

LIANG Ling, GU Mu, XU Wei-qun, CHEN Ling-yan. Preparation of a Temperature-controlled Annealing Furnace withHigh Precision and the Debugging of the Temperature Control Program[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2002,23(6): 619-622 DOI：

从退火炉的整体构造、管端配件的设计、控温电路和温度程序控制调节器的使用三个方面

介绍了由同济大学玻耳固体物理研究所自行研制的小型高精度温控退火炉装置。并针对典型的晶体退火过程

详细分析了温控系统中PID参数的选取和控温程序的调试工作。通过不同气氛条件下对钨酸铅(PbWO

)的退火处理实验证实

这套装置能够满足晶体生长后期退火处理的实际需要。

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相关机构

华南理工大学材料科学与工程学院, 高分子光电材料与器件研究所, 发光材料与器件国家重点实验室

吉林省产品质量监督检验院

长春理工大学光电工程学院

长春工业大学化学工程学院

电子科技大学中山学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室中山分实验室

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