质子交换LiTaO3光波导特性及晶格常数变化

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质子交换LiTaO₃光波导特性及晶格常数变化

非线性光学和集成光学 | 更新时间：2020-08-11

- 质子交换LiTaO₃光波导特性及晶格常数变化
- Lattice Constant Change and Characteristic of Proton-exchanged LiTaO₃ Waveguide Layer
- 发光学报 2001年22卷第4期页码：417-421
- 作者机构：
  
  1. 中国科学院激发态物理开放研究实验室, 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林, 长春, 130021
  2. 深圳赛格集团, 广州深圳, 518028
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目(59982007)()
- DOI：
  中图分类号： TN522
- 收稿：2001-08-08，
  
  修回：2001-7-20，
  
  纸质出版：2001-11-30
- 稿件说明：
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马少杰, 廖燕平, 邓文渊, 张红坡, 李玉善, 刘弦. 质子交换LiTaO3光波导特性及晶格常数变化[J]. 发光学报, 2001,22(4): 417-421

MA Shao-jie, LIAO Yan-ping, DENG Wen-yuan, ZHANG Hong-po, LI Yu-shan, LIU Xian. Lattice Constant Change and Characteristic of Proton-exchanged LiTaO3 Waveguide Layer[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2001,22(4): 417-421
马少杰, 廖燕平, 邓文渊, 张红坡, 李玉善, 刘弦. 质子交换LiTaO3光波导特性及晶格常数变化[J]. 发光学报, 2001,22(4): 417-421 DOI：

MA Shao-jie, LIAO Yan-ping, DENG Wen-yuan, ZHANG Hong-po, LI Yu-shan, LIU Xian. Lattice Constant Change and Characteristic of Proton-exchanged LiTaO3 Waveguide Layer[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2001,22(4): 417-421 DOI：

采用气相质子交换方法

在Z-切LiTaO

晶体表面制备平面光滑波导层.样品制备采用245℃苯甲酸气体

在LiTaO

晶体在-C和+C表面交换8～20小时.质子交换层在LiTaO

表面形成

并用棱镜耦合测量波导样品.然后在HF:HNO

酸中用化学方法腐蚀波导层

并用电子显微镜观测光波导层与衬底界面的形貌.用X射线衍射法

测量LiTaO

质子交换光波层的晶格常数变化.用双晶X射线测量质子交换(PE)和退火质子交换(APE)波导层晶格常数的变化.样品的X射线衍射曲线表明

PE和APE波导晶格常数的变化不同.实验中

还测量了有无极畴反转LiTaO

晶格常数的改变.

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