侧链型聚合物DANS-PMMA脊形条波导的制备

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研究报告 | 更新时间：2020-08-11

- 侧链型聚合物DANS-PMMA脊形条波导的制备
- Fabrication of Ridge Channel Waveguide for DANS-PMMA Side-chain Polymer
- 发光学报 2001年22卷第2期页码：147-150
- 作者机构：
  
  中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林长春 130021
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  中国科学院青年创新基金资助项目();国家自然科学基金重大项目(5979005004)资助项目()
- DOI：
  中图分类号： TN265.31
- 收稿：2000-06-07，
  
  修回：2000-10-24，
  
  纸质出版：2001-05-30
- 稿件说明：
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张平, 高福斌, 邢汝冰. 侧链型聚合物DANS-PMMA脊形条波导的制备[J]. 发光学报, 2001,22(2): 147-150

ZHANG Ping, GAO Fu-bin, XING Ru-bing. Fabrication of Ridge Channel Waveguide for DANS-PMMA Side-chain Polymer[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2001,22(2): 147-150
张平, 高福斌, 邢汝冰. 侧链型聚合物DANS-PMMA脊形条波导的制备[J]. 发光学报, 2001,22(2): 147-150 DOI：

ZHANG Ping, GAO Fu-bin, XING Ru-bing. Fabrication of Ridge Channel Waveguide for DANS-PMMA Side-chain Polymer[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2001,22(2): 147-150 DOI：

有机聚合物的紫外漂白

经过一系列复杂的光化学反应

会使聚合物薄膜的折射率和厚度降低。在此基础上

利用金属掩模对聚合物薄膜进行选择性紫外漂白

制备出聚合物脊形条波导。紫外漂白不需要对聚合物薄膜进行光刻和腐蚀便可获得边缘和表面比较整齐和光滑的脊形条波导

对减少波导的散射损耗十分有利。本文介绍了利用紫外漂白和金属掩模方法制备侧链型聚合物DANS(4-dimethylamino-4'nitro-stlibene)PMMA(polymethyl methacrylate)脊形条波导的工艺过程

并对关键工艺进行了讨论。

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