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反应溅射氧化锌薄膜的结构特点及性质
研究论文 | 更新时间：2020-08-11

    • 反应溅射氧化锌薄膜的结构特点及性质

    • Structure and Properties of ZnO Films Prepared by Ion Beam Reactive Sputtering

    • 发光学报   2006年27卷第6期 页码：927-932
    • 中图分类号： O472.3;O482.31

    • 收稿：2005-12-20，

      修回：2006-3-3，

      纸质出版：2006-11-20

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  • 刘建, 刘佳宇. 反应溅射氧化锌薄膜的结构特点及性质[J]. 发光学报, 2006,27(6): 927-932 DOI：

    LIU Jian, LIU Jia-yu. Structure and Properties of ZnO Films Prepared by Ion Beam Reactive Sputtering[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2006,27(6): 927-932 DOI：

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