ZnO外延膜与蓝宝石衬底的取向偏差及其弯曲变形

郑畅达; 方文卿; 王立; 莫春兰; 蒲勇; 戴江南; 刘卫华; 江风益

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ZnO外延膜与蓝宝石衬底的取向偏差及其弯曲变形

研究论文 | 更新时间：2020-08-11

- ZnO外延膜与蓝宝石衬底的取向偏差及其弯曲变形
- Misorientation and Bending of ZnO Films on Sapphire by X-ray Double Crystal Diffractometry
- 发光学报 2005年26卷第3期页码：385-390
- 作者机构：
  
  南昌大学, 材料科学研究所, 教育部发光材料与器件工程研究中心, 江西, 南昌, 330047
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家“863”计划纳米专项课题(2003AA302160);电子信息产业发展基金资助项目
- DOI：
  中图分类号： O472.3;O482.31
- 收稿：2004-08-25，
  
  修回：2004-11-24，
  
  纸质出版：2005-05-20
- 稿件说明：
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郑畅达, 方文卿, 王立, 莫春兰, 蒲勇, 戴江南, 刘卫华, 江风益. ZnO外延膜与蓝宝石衬底的取向偏差及其弯曲变形[J]. 发光学报, 2005,26(3): 385-390

ZHENG Chang-da, FANG Wen-qing, WANG Li, MO Chun-lan, PU Yong, DAI Jiang-nan, LIU Wei-hua, JIANG Feng-yi. Misorientation and Bending of ZnO Films on Sapphire by X-ray Double Crystal Diffractometry[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2005,26(3): 385-390
郑畅达, 方文卿, 王立, 莫春兰, 蒲勇, 戴江南, 刘卫华, 江风益. ZnO外延膜与蓝宝石衬底的取向偏差及其弯曲变形[J]. 发光学报, 2005,26(3): 385-390 DOI：

ZHENG Chang-da, FANG Wen-qing, WANG Li, MO Chun-lan, PU Yong, DAI Jiang-nan, LIU Wei-hua, JIANG Feng-yi. Misorientation and Bending of ZnO Films on Sapphire by X-ray Double Crystal Diffractometry[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2005,26(3): 385-390 DOI：

摘要

采用常压MOCVD方法在Al

(00.1)衬底上生长出了高质量ZnO单晶薄膜。由ZnO(00.2)面和Al

(00.6)面及ZnO(10.2)面和Al

(11.6)面X射线双晶ω/2θ衍射曲线的相对峰位

得到ZnO外延膜的晶格常数及外延层和衬底间的取向差异角。结果表明外延层和衬底在应力作用下产生了取向差和晶格畸变

并且取向倾斜方向与衬底的切割倾角方向一致;高温直接生长的样品的取向差比有低温缓冲层样品更大

晶格畸变也更严重。高温直接生长的样品弯曲半径小而应力更大;实验测量的应力值和理论计算的热应力值之间存在差异

原因主要是晶格失配应力的存在。有缓冲层的样品由于能更好地弛豫晶格失配引入的应力

热应力所占整个残余应力的比例相对更大。

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