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中国科学技术大学, 物理系
收稿:2004-08-09,
修回:2004-12-13,
纸质出版:2005-03-20
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林碧霞, 傅竹西, 廖桂红. 氧化锌薄膜Zn/O比和发光性能的关系[J]. 发光学报, 2005,26(2): 225-228
LIN Bi-xia, FU Zhu-xi, LIAO Gui-hong. Effect of Zn/O on Photoluminescence of ZnO on Si[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2005,26(2): 225-228
林碧霞, 傅竹西, 廖桂红. 氧化锌薄膜Zn/O比和发光性能的关系[J]. 发光学报, 2005,26(2): 225-228 DOI:
LIN Bi-xia, FU Zhu-xi, LIAO Gui-hong. Effect of Zn/O on Photoluminescence of ZnO on Si[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2005,26(2): 225-228 DOI:
用直流反应溅射在硅基片上生长具有高取向晶粒的氧化锌薄膜
在氧气、氮气、空气气氛和不同温度下进行热处理
对所得到的样品用俄歇谱(AES)仪进行元素深层分布分析
并测量光致发光光谱.研究结果表明:1.经热处理的薄膜表面全部为缺氧表面
不同深度Zn和O含量分布(Zn/O)有所不同;2.当在氧气氛中1000℃下热处理后
在薄膜的深层可产生比较明显的氧过量;而在空气中950℃下热处理后
则可产生局部氧过量;3.光致发光谱表明
薄膜中全部为锌过量时产生纯紫外发射
而具有局部氧过量的薄膜则在产生紫外发射的同时产生绿色发光
绿光和紫外的强度比则随局部氧过量增多而增大.
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