ZnO肖特基势垒紫外探测器

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ZnO肖特基势垒紫外探测器

研究论文 | 更新时间：2020-08-11

- ZnO肖特基势垒紫外探测器
- ZnO Schottky Barrier UV Photodetector
- 发光学报 2005年26卷第1期页码：135-138
- 作者机构：
  
  电子科技大学微电子与固体电子学院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家“973”项目(51310Z09 4);国家自然科学基金重大项目(60390073)资助项目
- DOI：
  中图分类号： O472.3
- 收稿：2004-09-15，
  
  修回：2004-12-4，
  
  纸质出版：2005-01-20
- 稿件说明：
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高晖, 邓宏, 李燕. ZnO肖特基势垒紫外探测器[J]. 发光学报, 2005,26(1): 135-138

GAO Hui, DENG Hong, LI Yan. ZnO Schottky Barrier UV Photodetector[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2005,26(1): 135-138
高晖, 邓宏, 李燕. ZnO肖特基势垒紫外探测器[J]. 发光学报, 2005,26(1): 135-138 DOI：

GAO Hui, DENG Hong, LI Yan. ZnO Schottky Barrier UV Photodetector[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2005,26(1): 135-138 DOI：

以p-Si(111)为衬底

用水热法首次制得六棱微管ZnO。并以此为有源区利用平面磁控溅射技术沉积得到Ag叉指状电极

从而制作了Ag/n-ZnO肖特基势垒结紫外探测器。对该紫外光探测器的暗电流和365nm波长光照下的光电流、光响应和量子效率进行了测试。测试结果表明:Ag和ZnO六棱管间已形成肖特基接触

其有效势垒高度为0.35eV。无光照时

暗电流很小

当用λ=365nm的光照射Ag/n-ZnO肖特基结时

在5

9V偏压时

光生电流分别为25.6

57.9μA。Ag/n-ZnO紫外探测器有明显的光响应特性和较高的量子效率

在 366nm波长处

光响应度达到最大值0.161A/W

量子效率为54.7%。

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