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集成光学亚微米光栅的原子力显微镜表征
论文 | 更新时间：2020-08-11

    • 集成光学亚微米光栅的原子力显微镜表征

    • CHARACTERISATION OF SUBMICROMETER GRATINGS FOR INTEGRATED OPTICS BY A ATOMIC-FORCE-MICROSCOPE

    • 发光学报   1998年19卷第1期 页码：80-81

    • 收稿：1997-08-13，

      纸质出版：1998-02-28

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  • 李燕, 徐迈, 张玉书, Burger J, Parriaux O. 集成光学亚微米光栅的原子力显微镜表征[J]. 发光学报, 1998,19(1): 80-81 DOI：

    Li Yan, Xu Mai, Zhang Yushu, Burger J, Parriaux O. CHARACTERISATION OF SUBMICROMETER GRATINGS FOR INTEGRATED OPTICS BY A ATOMIC-FORCE-MICROSCOPE[J]. Chinese Journal of Luminescence, 1998,19(1): 80-81 DOI：

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