发蓝绿光纳米硅薄膜的快速热处理制备

刘世祥; 朱美芳; 石万全; 刘渝珍; 韩一琴; 刘金龙; 陈国; 孙景兰; 陈培毅; 唐勇

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发蓝绿光纳米硅薄膜的快速热处理制备

论文 | 更新时间：2020-08-11

- 发蓝绿光纳米硅薄膜的快速热处理制备
- PREPARATION OF NANOCRYSTALLINE Si FILMS WITH GREEN/BLUE PHOTOLUMINESCENCE BY RAPID THERMAL PROCESSING
- 发光学报 1998年19卷第3期页码：212-215
- 作者机构：
  
  1. 中国科学技术大学研究生院北京,100039
  2. 清华大学微电子所, 北京 100084
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  中国科学技术大学研究生院(北京)院长基金
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版日期：1998-8-30，
  
  收稿日期：1997-10-16，
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刘世祥, 朱美芳, 石万全, 刘渝珍, 韩一琴, 刘金龙, 陈国, 孙景兰, 陈培毅, 唐勇. 发蓝绿光纳米硅薄膜的快速热处理制备[J]. 发光学报, 1998,19(3): 212-215

Liu Shixiang, Zhu Meifang, Shi Wanquan, Liu Yuzhen, Han Yiqin, Liu Jinlong, Chen Guo, Sun Jinglan, Chen Peiyi, Tang Yong. PREPARATION OF NANOCRYSTALLINE Si FILMS WITH GREEN/BLUE PHOTOLUMINESCENCE BY RAPID THERMAL PROCESSING[J]. Chinese Journal of Luminescence, 1998,19(3): 212-215
刘世祥, 朱美芳, 石万全, 刘渝珍, 韩一琴, 刘金龙, 陈国, 孙景兰, 陈培毅, 唐勇. 发蓝绿光纳米硅薄膜的快速热处理制备[J]. 发光学报, 1998,19(3): 212-215 DOI：

Liu Shixiang, Zhu Meifang, Shi Wanquan, Liu Yuzhen, Han Yiqin, Liu Jinlong, Chen Guo, Sun Jinglan, Chen Peiyi, Tang Yong. PREPARATION OF NANOCRYSTALLINE Si FILMS WITH GREEN/BLUE PHOTOLUMINESCENCE BY RAPID THERMAL PROCESSING[J]. Chinese Journal of Luminescence, 1998,19(3): 212-215 DOI：

摘要

使用除氢、高温成核和低温生长的三段式快速热处理方法

将常规方法制备的氢化非晶硅(a-SiH)薄膜晶化成纳米硅(nc-Si)薄膜。该薄膜在波长为457.9nm的Ar

激光的激发下

在室温发射出蓝绿光。

Abstract

Nonocrystalline Si (nc-Si) thin films were prepared by crystallization of the hydrogenaed amorphous Si (a-Si) films using the three-step Rapid Thermat Processing (RTP)

i. e. evolution of the hydrogen

nucleation at high temperature and growth at low temperture. Green/Blue light emisson from the nc-Si thin films were observed under excitaion of Ar

laser (457.9nm)at room temperature.

关键词

蓝绿光荧光纳米硅薄膜快速热处理

Keywords

green/blue photoluminescencenc-Si thin filmRTP

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