金刚石镶嵌非晶碳膜表面形貌对场致电子发射的影响

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论文 | 更新时间：2020-08-11

- 金刚石镶嵌非晶碳膜表面形貌对场致电子发射的影响
- INFLUENCE OF SURFACE MORPHOLOGIES OF FIELD ELECTRON EMISSION FROM CVD DIAMOND-AMORPHOUS CARBON FILMS SURFACES
- 发光学报 1998年19卷第3期页码：267-271
- 作者机构：
  
  1. 郑州大学物理系及河南省基础及应用科学研究所
  2. 郑州航空工业管理学院应用科学系
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  863计划新材料领域资助
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿：1997-10-09，
  
  纸质出版：1998-08-30
- 稿件说明：
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王小平, 姚宁, 李运钧, 何金田, 张兵临. 金刚石镶嵌非晶碳膜表面形貌对场致电子发射的影响[J]. 发光学报, 1998,19(3): 267-271

Wang Xiaoping, Yao Ning, Li Yunjun, He Jintian, Zhang Binglin. INFLUENCE OF SURFACE MORPHOLOGIES OF FIELD ELECTRON EMISSION FROM CVD DIAMOND-AMORPHOUS CARBON FILMS SURFACES[J]. Chinese Journal of Luminescence, 1998,19(3): 267-271
王小平, 姚宁, 李运钧, 何金田, 张兵临. 金刚石镶嵌非晶碳膜表面形貌对场致电子发射的影响[J]. 发光学报, 1998,19(3): 267-271 DOI：

Wang Xiaoping, Yao Ning, Li Yunjun, He Jintian, Zhang Binglin. INFLUENCE OF SURFACE MORPHOLOGIES OF FIELD ELECTRON EMISSION FROM CVD DIAMOND-AMORPHOUS CARBON FILMS SURFACES[J]. Chinese Journal of Luminescence, 1998,19(3): 267-271 DOI：

用微波等离子体化学气相沉积设备

在经过不同研磨预处理的金属钼衬底上沉积出了表面形貌有较大差异的金刚石镶嵌非晶碳膜

分别用扫描电子显微镜(SEM)、金相显微镜和X射线衍射谱(XRD)以及Raman光谱对样品进行了分析测试。研究了各样品的场致电子发射特性

结果发现薄膜表面由大量镶嵌有金刚石小晶粒的非晶碳球组成

在我们的实验范围内

薄膜表面非晶碳球尺寸越小

场致电子发射效果越好。

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相关机构

武汉大学物理科学与技术学院, 声光材料与器件教育部重点实验室

中国科学院, 传感技术联合国家重点实验室

郑州大学, 工程力学系

郑州大学, 材料物理教育部重点实验室

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