智能高精度温度控制退火炉的研制

徐健; 任芳海; 闫秀英

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智能高精度温度控制退火炉的研制

研究快报 | 更新时间：2020-08-11

- 智能高精度温度控制退火炉的研制
- PREPARATION OF A TEMPERATURE CONTROLLED INTELLIGENT ANNEALING FURNACE WITH HIGH PRECISION
- 发光学报 1998年19卷第3期页码：278-280
- 作者机构：
  
  中国科学院长春物理研究所长春,130021
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版日期：1998-8-30，
  
  收稿日期：1997-12-9，
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徐健, 任芳海, 闫秀英. 智能高精度温度控制退火炉的研制[J]. 发光学报, 1998,19(3): 278-280

Xu Jian, Ren Fanghai, Yan Xiuying. PREPARATION OF A TEMPERATURE CONTROLLED INTELLIGENT ANNEALING FURNACE WITH HIGH PRECISION[J]. Chinese Journal of Luminescence, 1998,19(3): 278-280
徐健, 任芳海, 闫秀英. 智能高精度温度控制退火炉的研制[J]. 发光学报, 1998,19(3): 278-280 DOI：

Xu Jian, Ren Fanghai, Yan Xiuying. PREPARATION OF A TEMPERATURE CONTROLLED INTELLIGENT ANNEALING FURNACE WITH HIGH PRECISION[J]. Chinese Journal of Luminescence, 1998,19(3): 278-280 DOI：

摘要

在集成光学领域中

光波导制备工艺中的退火不仅能显着提高波导的光学质量

而且能灵活地调节折射率分布的轮廓及其增量。我们专门研制了一种智能高精度退火炉。具有体积小

精度高

自动控制

操作方便等特点。

Abstract

This paper elecribes the structure

operating principle and operation insturction of a temperature-controlled intelligent annealing furnace whith high precision. The experimental results show that the temperature-control precision is±0.1℃. The intelligent anneling furnace has the following characteristics

such as without super regulating high precision

simple in determing parameter

etc. through using AI atrificial intelligence algorithmic approach

in which PID algorithmic approach is improved and retained in certain degree and the rules of fuzzy regulating algorithmic approach is added.

关键词

退火炉温控AI智能算法

Keywords

annealing furnacetemperature-controlledAI artificial intelligent

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