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半导体异质外延薄膜质量的X射线衍射检测方法
论文 | 更新时间：2020-08-11

    • 半导体异质外延薄膜质量的X射线衍射检测方法

    • X-RAY DIFFRACTION TESTING METHOD OF SEMICONDUCTOR HETERO-EPILAYER

    • 发光学报   1996年17卷第3期 页码：257-260

    • 收稿：1995-09-08，

      纸质出版：1996-08-30

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  • 葛中久, 李梅, 张志舜, 冯禹臣. 半导体异质外延薄膜质量的X射线衍射检测方法[J]. 发光学报, 1996,17(3): 257-260 DOI：

    Ge Zhongjiu, Li Mei, Zhang Zhishun, Feng Yuchen. X-RAY DIFFRACTION TESTING METHOD OF SEMICONDUCTOR HETERO-EPILAYER[J]. Chinese Journal of Luminescence, 1996,17(3): 257-260 DOI：

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