生长温度、过冷度对InAsPSb外延层表面形貌影响的研究

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与发光有关的实验技术 | 更新时间：2020-08-11

- 生长温度、过冷度对InAsPSb外延层表面形貌影响的研究
- INFLUENCE OF GROWTH AND SUPERCOOLING TEMPERATURE ON THE SURFACE MORPHOLOGY OF InAsPSb EPITAXIAL LAYER
- 发光学报 1996年17卷第1期页码：47-51
- 作者机构：
  
  中国科学院长春物理研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿：1995-04-06，
  
  纸质出版：1996-02-29
- 稿件说明：
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王永珍, 金长春, 吕贵进. 生长温度、过冷度对InAsPSb外延层表面形貌影响的研究[J]. 发光学报, 1996,17(1): 47-51

Wang Yongzhen, Jin Changchun, Lü Guijin. INFLUENCE OF GROWTH AND SUPERCOOLING TEMPERATURE ON THE SURFACE MORPHOLOGY OF InAsPSb EPITAXIAL LAYER[J]. Chinese Journal of Luminescence, 1996,17(1): 47-51
王永珍, 金长春, 吕贵进. 生长温度、过冷度对InAsPSb外延层表面形貌影响的研究[J]. 发光学报, 1996,17(1): 47-51 DOI：

Wang Yongzhen, Jin Changchun, Lü Guijin. INFLUENCE OF GROWTH AND SUPERCOOLING TEMPERATURE ON THE SURFACE MORPHOLOGY OF InAsPSb EPITAXIAL LAYER[J]. Chinese Journal of Luminescence, 1996,17(1): 47-51 DOI：

本文采用恒温液相外延生长方法

研究了InAsPSb四元材料外延层表面形貌与生长温度、过冷度之间的关系.实验结果表明

生长温度、过冷度对外延晶体质量及表面形貌的影响较为明显

同时对其它因素的影响也做了分析.

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