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Er离子注入GaP, GaAs, InP的二次离子质谱(SIMS)的研究
研究快报 | 更新时间:2020-08-11
    • Er离子注入GaP, GaAs, InP的二次离子质谱(SIMS)的研究

    • SECONDARY ION MASS SPECTROMETRY STUDIES OF ERBIUM IMPLANTED IN SEMICONDUCTORS GaP, GaAs AND InP

    • 发光学报   1994年15卷第1期 页码:71-73
    • 收稿:1993-10-19,

      纸质出版:1994-02-28

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  • 陈辰嘉, 王学忠, 周必忠, 陈世帛, 雷红兵, 李仪, 李菊生, Bottazzi P. Er离子注入GaP, GaAs, InP的二次离子质谱(SIMS)的研究[J]. 发光学报, 1994,15(1): 71-73 DOI:

    Chen Chenjia, Wang Xuezhong, Zhou Bizhong, Chen Shibo, Lei Hongbing, Li Yi, Li Jusheng, Bottazzi P.. SECONDARY ION MASS SPECTROMETRY STUDIES OF ERBIUM IMPLANTED IN SEMICONDUCTORS GaP, GaAs AND InP[J]. Chinese Journal of Luminescence, 1994,15(1): 71-73 DOI:

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