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复旦大学物理系, 上海 200432
收稿:1992-05-05,
纸质出版:1993-05-30
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陈中, 李飞鸣, 杨远龙. 脉冲紫外激光刻蚀聚合物薄膜的发射光谱和形貌学研究[J]. 发光学报, 1993,14(2): 179-184
Chen Zhong, Li Feiming, Yang Yuanlong. ULTRAVIOLET LASER ABLATION AND ETCHING POLYMER FILM[J]. Chinese Journal of Luminescence, 1993,14(2): 179-184
陈中, 李飞鸣, 杨远龙. 脉冲紫外激光刻蚀聚合物薄膜的发射光谱和形貌学研究[J]. 发光学报, 1993,14(2): 179-184 DOI:
Chen Zhong, Li Feiming, Yang Yuanlong. ULTRAVIOLET LASER ABLATION AND ETCHING POLYMER FILM[J]. Chinese Journal of Luminescence, 1993,14(2): 179-184 DOI:
用聚焦的紫外XeCl准分子激光器轰击高分子聚合物薄膜(涤纶薄膜)
由OMA系统接收其发射光谱.发现谱线主要为C
2
的Swan带和CN的红带
并与高压汞灯照射后的聚合物薄膜的发射谱进行了比较
在我们的实验精度内
没有发现区别.实验显示
每个光脉冲能刻蚀掉几分之一到几个微米的薄膜.激光的刻蚀效应存在波长和能量密度两个阈值.对于涤纶薄膜
能量密度的阈值约为40mJ/cm
.同时还作了紫外吸收光谱和SEM照片的分析.
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