GaInAsP/InP LED透镜的研制

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与发光有关的实验技术 | 更新时间：2020-08-11

- GaInAsP/InP LED透镜的研制
- FORMATION OF LENSES ON GaInAsP/InP LEDs
- 发光学报 1985年6卷第2期页码：155-160
- 作者机构：
  
  中国科学院上海冶金研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿：1984-11-30，
  
  纸质出版：1985-05-30
- 稿件说明：
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邬祥生, 徐少华, 姚文兰, 董荣康. GaInAsP/InP LED透镜的研制[J]. 发光学报, 1985,6(2): 155-160

Wu Xiangsheng, Xu Shaohua, Yao Wenlan, Dong Rongkang. FORMATION OF LENSES ON GaInAsP/InP LEDs[J]. Chinese Journal of Luminescence, 1985,6(2): 155-160
邬祥生, 徐少华, 姚文兰, 董荣康. GaInAsP/InP LED透镜的研制[J]. 发光学报, 1985,6(2): 155-160 DOI：

Wu Xiangsheng, Xu Shaohua, Yao Wenlan, Dong Rongkang. FORMATION OF LENSES ON GaInAsP/InP LEDs[J]. Chinese Journal of Luminescence, 1985,6(2): 155-160 DOI：

带有透镜结构的发光管有利于提高器件的外量子效率和耦合效率。InP衬底对1.3μm波长范围的光发射是透明的

因而可制造带透镜结构器件。本文研究了4%CH

COOH体系腐蚀液和H

:HCI体积比为1:3腐蚀液的腐蚀特性

比较了二者的活化能和腐蚀液的温度

状态和衬底晶向等对腐蚀速率的影响。并用二步腐蚀法在外延片的InP衬底上制成了带有透镜的InAsP/InP发光管。其曲率半径为160—170μm。该器件在彩色录像传输系统中的应用效果良好。

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