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中国科学院长春物理研究所
收稿:1983-04-26,
纸质出版:1984-08-30
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公猛男, 赵彦民. Zn在Ga<sub>1-x</sub>Al<sub>x</sub>As中的扩散规律[J]. 发光学报, 1984,5(3): 68-74
Gong Mengnan, Zhao Yanmin. ZINC DIFFUSION IN Ga<sub>1-x</sub>Al<sub>x</sub>As[J]. Chinese Journal of Luminescence, 1984,5(3): 68-74
公猛男, 赵彦民. Zn在Ga<sub>1-x</sub>Al<sub>x</sub>As中的扩散规律[J]. 发光学报, 1984,5(3): 68-74 DOI:
Gong Mengnan, Zhao Yanmin. ZINC DIFFUSION IN Ga<sub>1-x</sub>Al<sub>x</sub>As[J]. Chinese Journal of Luminescence, 1984,5(3): 68-74 DOI:
本文论述了在720℃~750℃的温度下
Zn在Ga
1-x
Al
x
As
GaAs中的扩散。研究了结深x
1
随片子表面Al组份x值的变化规律。实验表明在同一扩散条件下
Ga
As与GaAs两种材料的结深xj并不相同。在此基础上获得了Al组份
=0.34的最佳扩散条件。
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