原料纯度对VPE ZnSe单晶薄膜发光和电学性能的影响

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电致发光 | 更新时间：2020-08-11

- 原料纯度对VPE ZnSe单晶薄膜发光和电学性能的影响
- THE EFFECT OF THE PURITY OF SOURCE MATERIALS ON PHOTOLUMINESCENCE AND ELECTRICAL PROPERTIES OF VPE ZnSe EPILAYERS
- 发光学报 1986年7卷第4期页码：349-356
- 作者机构：
  
  中国科学院长春物理研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿：1986-04-15，
  
  纸质出版：1986-11-30
- 稿件说明：
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汤子康, 范希武, 李维志. 原料纯度对VPE ZnSe单晶薄膜发光和电学性能的影响[J]. 发光学报, 1986,7(4): 349-356

Tang Zikang, Fan Xiwu(X. W. Fan), Li Weizhi. THE EFFECT OF THE PURITY OF SOURCE MATERIALS ON PHOTOLUMINESCENCE AND ELECTRICAL PROPERTIES OF VPE ZnSe EPILAYERS[J]. Chinese Journal of Luminescence, 1986,7(4): 349-356
汤子康, 范希武, 李维志. 原料纯度对VPE ZnSe单晶薄膜发光和电学性能的影响[J]. 发光学报, 1986,7(4): 349-356 DOI：

Tang Zikang, Fan Xiwu(X. W. Fan), Li Weizhi. THE EFFECT OF THE PURITY OF SOURCE MATERIALS ON PHOTOLUMINESCENCE AND ELECTRICAL PROPERTIES OF VPE ZnSe EPILAYERS[J]. Chinese Journal of Luminescence, 1986,7(4): 349-356 DOI：

本文叙述了原料纯度对ZnSe外延膜的发光和电学性能的影响。随原料纯度提高

ZnSe外延膜的电阻率增大

同时PL光谱中与自由激子发射有关的E

带不断增强。这就表明

在我们实验条件下

ZnSe外延层的电导载流子主要来自于原料中施主杂质的污染而不是本征施主

当衬底温度较低时

原料中施主杂质的污染要比衬底中的Ga自扩散重要得多。随着原料纯度的提高

ZnSe外延膜电阻率增加

正是由于原料中施主杂质的减少。

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