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中国科学院长春物理研究所
收稿:1983-05-24,
纸质出版:1983-11-30
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范广涵, 胡光. MO-CVD法和Ⅱ-Ⅵ族材料的制备[J]. 发光学报, 1983,4(4): 77-89
Fan Guang-han, Hu Guang. MO-CVD AND THE PREPARATION OF II-VI COMPOUNDS[J]. Chinese Journal of Luminescence, 1983,4(4): 77-89
范广涵, 胡光. MO-CVD法和Ⅱ-Ⅵ族材料的制备[J]. 发光学报, 1983,4(4): 77-89 DOI:
Fan Guang-han, Hu Guang. MO-CVD AND THE PREPARATION OF II-VI COMPOUNDS[J]. Chinese Journal of Luminescence, 1983,4(4): 77-89 DOI:
本文评述了金属有机化合物化学汽相淀积(MO-CVD)法的原理、特点及应用。着重讨论了Ⅱ-Ⅵ族材料的MO-CVD法的制备。
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