La amplia banda prohibida del óxido de galio lo hace muy adecuado para la fabricación de detectores fotoeléctricos ultravioleta ciegos a la luz visible. La sensibilidad de los detectores fotoeléctricos ultravioleta basados en películas delgadas suele ser baja. Sin embargo, debido a la alta área superficial específica y la alta calidad cristalina que proporcionan una gran estabilidad, los nanomateriales tienen un excelente rendimiento fotoeléctrico en aplicaciones de dispositivos. Aquí, logramos depositar con éxito nanoporos de β-Ga₂O₃ sobre una plantilla AAO porosa ordenada bidireccional mediante deposición por láser pulsado (PLD). Utilizando la plantilla AAO porosa como espacio de crecimiento para los nanomateriales, se rellena el material de óxido de galio en los canales de la plantilla, formando una estructura de nanotubos. Al optimizar el proceso de fabricación, se estudió en profundidad la relación entre las propiedades de los nanotubos de óxido de galio y el tiempo de crecimiento, mejorando así la sensibilidad del detector.
关键词
nanoporos de β-Ga₂O₃; plantilla AAO; deposición por láser pulsado; materiales semiconductores de banda ancha