Las características de la banda prohibida ancha del óxido de galio lo hacen ideal para la fabricación de detectores de radiación ultravioleta a prueba de luz del día. La respuesta de los detectores de radiación ultravioleta basados en películas delgadas suele ser baja. Sin embargo, debido a la gran superficie específica y a la alta calidad cristalina, los nanomateriales presentan un excelente rendimiento fotoeléctrico en aplicaciones de dispositivos. Aquí, logramos depositar el óxido de galio β en nanoporos σ-AОO utilizando deposición láser pulsada. Utilizamos matrices AAO preparadas mediante métodos mecánicos puntuales que permiten el crecimiento de nanomateriales, llenando los poros del óxido de galio para formar una estructura nanotubular. Después de optimizar el proceso, se estudió en profundidad la relación entre el rendimiento de los nanotubos de óxido de galio y el tiempo de crecimiento, lo que permitió mejorar la respuesta del detector.
关键词
Nanoporos β-Ga₂O₃; Matrices AAO; deposición láser pulsada; materiales semiconductores de banda prohibida ancha