La baja eficiencia de extracción de luz del Micro-LED rojo basado en AlGaInP limita la intensidad de emisión del dispositivo. Este artículo propone una técnica de máscara nanometálica de Ni autoensamblada y grabado húmedo, obteniendo una textura superficial de GaP de alta densidad y alta uniformidad. La textura de la superficie incrementa el ángulo crítico y reduce el efecto de reflexión interna total, mejorando efectivamente la eficiencia de extracción de luz del dispositivo. Se obtuvieron texturas superficiales con diferentes morfologías usando máscaras de níquel de distintos grosores. Los resultados muestran que, a una densidad de corriente de 20 A/cm², la intensidad de emisión y la eficiencia cuántica externa del Micro-LED grabado húmedo con máscara nanometálica de níquel de 1 nm de espesor aumentaron en un 21.04 % y 23.58 %, respectivamente, en comparación con Micro-LED sin textura superficial. Se propuso una técnica combinada de grabado seco ICP y grabado húmedo para preparar una textura superficial cilíndrica tipo panal. Después del grabado ICP en el mismo proceso y posterior corrosión húmeda del GaP durante diferentes tiempos, a una densidad de corriente de 20 A/cm², la intensidad de emisión y la eficiencia cuántica externa del Micro-LED con grabado ICP y húmedo de 10 s*3 veces aumentaron en un 81.61 % y 48.40 %, respectivamente, en comparación con Micro-LED sin textura superficial.

AlGaInP;invertido;eficiencia de extracción de luz;Micro-LED;textura superficial