El óxido de lutecio (Lu₂O₃) es considerado un material cristalino láser prometedor debido a su alta conductividad térmica, baja energía de fonones y fuerte campo cristalino. Sin embargo, su alto punto de fusión de hasta 2450 ℃ genera gradientes de temperatura significativos que inducen la formación de numerosos defectos. La investigación sobre los defectos de este cristal aún es insuficiente, lo que limita la mejora de la calidad del cristal. En este estudio, utilizamos el método de grabado químico para explorar los efectos del grabado en cristales de Lu₂O₃ bajo diferentes condiciones, y determinamos las mejores condiciones para estudiar los defectos de dislocación en cristales de Lu₂O₃ (fracción de masa 70% H₃PO₄, 160 ℃, 15~18 minutos). La morfología de los pozos de grabado de dislocación en obleas Lu₂O₃ con orientación (111) y (110) fue caracterizada mediante microscopio óptico, microscopio electrónico de barrido y microscopio de fuerza atómica. Este estudio llena un vacío en el conocimiento sobre defectos lineales en Lu₂O₃ y proporciona una guía para optimizar el proceso de crecimiento cristalino y mejorar la calidad del cristal.

Lu₂O₃;pozos de corrosión;dislocaciones;defectos cristalinos