El óxido de lutecio (Lu₂O₃) se considera un material cristalino láser prometedor debido a su alta conductividad térmica, baja energía de fonones y fuerte campo cristalino. Sin embargo, su alto punto de fusión de hasta 2,450 ℃ genera gradientes térmicos significativos, lo que induce una gran cantidad de defectos. La investigación sobre los defectos de este cristal aún es insuficiente, lo que limita la mejora de la calidad del cristal. En este estudio, utilizamos el método de grabado químico para investigar los efectos del grabado en cristales de Lu₂O₃ bajo diferentes condiciones, y determinamos las mejores condiciones para estudiar los defectos de dislocación en cristales de Lu₂O₃ (fracción en masa del 70% de H₃PO₄, 160 ℃, 15~18 min). Se caracterizó la morfología de los pozos de dislocación en obleas de Lu₂O₃ con orientaciones (111) y (110) mediante microscopio, microscopio electrónico de barrido y microscopio de fuerza atómica. Este estudio llena el vacío en el conocimiento de los defectos lineales en Lu₂O₃ y proporciona orientación para optimizar el proceso de crecimiento de cristales y mejorar la calidad del cristal.

Lu₂O₃;pozo de corrosión;dislocación;defectos del cristal