El óxido de lutecio (Lu2O3) se considera un material potencial para los cristales láser debido a su alta conductividad térmica, baja energía fonónica y fuerte campo cristalino. Sin embargo, su alto punto de fusión de hasta 2450 °C puede crear fácilmente gradientes de temperatura significativos, estimulando así la formación de muchas imperfecciones. La investigación sobre defectos en este cristal es insuficiente, lo que dificulta la mejora de la calidad del cristal. En este estudio, utilizamos un método de grabado químico para explorar el efecto del grabado en el cristal Lu2O3 en diferentes condiciones e identificar las mejores condiciones para estudiar los defectos del cristal Lu2O3 (70 % en peso de H3PO4, 160 °C, 15-18 min). La forma de los defectos grabados en las obleas de cristal Lu₂O₃ (111) y (110) fue caracterizada mediante un microscopio óptico, un microscopio electrónico de barrido y un microscopio de fuerza atómica. Este estudio llena el vacío en la comprensión de los defectos en línea de Lu2O3 y guía la optimización del proceso de crecimiento de cristales y la mejora de su calidad.

Lu2O3; pozos de corrosión; defectos; defectos cristalinos