Control sinérgico de la emisión luminosa y las propiedades ferroeléctricas de películas de AlScN dopadas con Er3+

LI Dan ,  

LIU Mingrui ,  

WANG Shuai ,  

JIA Yuping ,  

ZANG Hang ,  

SUN Rui ,  

ZHANG Shanli ,  

SUN Xiaojuan ,  

LI Dabing ,  

摘要

Los iones de tierras raras poseen niveles ricos de emisión luminosa, y al incorporarlos como centros emisores en materiales ferroeléctricos, se puede utilizar la polarización ferroeléctrica para lograr un control dinámico de la longitud de onda y la intensidad de emisión de los iones de tierras raras, lo que mejorará considerablemente el rendimiento de los dispositivos optoelectrónicos semiconductores. El AlScN, con su fuerte polarización residual, amplia banda prohibida y alta compatibilidad con procesos CMOS, ofrece nuevas oportunidades para la construcción de nuevos dispositivos emisores multifuncionales con regulación ferroeléctrica. Este trabajo estudia el efecto del dopaje con Er3+ en la emisión y las propiedades ferroeléctricas de películas de AlScN. El aumento de la concentración del dopante incrementa el número de centros emisores; en el rango de concentración de 3.6 % a 9.4 %, se observa un aumento en la intensidad del pico de emisión de Er3+, pero concentraciones superiores al 10 % provocan un efecto de apagamiento que reduce la emisión. El dopaje con Er3+ provoca una ligera degradación del rendimiento del AlScN, pero a una concentración del 9.4 % se mantiene una polarización residual superior a 80 μC/cm2, mostrando la coexistencia de emisión luminosa y fuerte ferrolectricidad, lo que sienta las bases para el diseño de nuevos dispositivos emisores multifuncionales y altamente integrados utilizando este material ferroeléctrico.

关键词

AlScN;Er3+;fotoluminiscencia;ferroelectricidad fuerte

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