Salida de luz de vortex de VCSEL basado en una superposición de nanoantenas de nitruro de silicio integrado

NIU Hao ,  

WANG Yongli ,  

JIANG Zengxuan ,  

LI Chuanchuan ,  

WEI Zhipeng ,  

SONG Guofeng ,  

摘要

Los últimos avances en la tecnología de dispositivos fotónicos integrados satisfacen plenamente la demanda del mercado de sistemas óptico-electrónicos compactos y eficientes, y promueven de manera efectiva el desarrollo de la tecnología de superficies ópticas superpuestas. Por ejemplo, la integración de un láser de emisión de cavidad vertical (VCSEL) con una superficie óptica superpuesta puede generar un haz de luz vectorial con una onda frontal específica, lo que mejora considerablemente la funcionalidad y flexibilidad del sistema óptico-electrónico. En este artículo, se ha diseñado un VCSEL de 850 nm basado en una súper superficie de nanoantena de nitruro de silicio (Si3N4), a través del ajuste de los parámetros de la estructura de la nanoantena, se logró una cobertura de fase de más de 2 π y utilizando un disco de fase de vortex de 1er y 2do orden, se generaron con éxito haces de luz de vortex de diferentes órdenes. Estos resultados proporcionan un nuevo enfoque para la regulación del campo de luz VCSEL a través de las superficies ópticas superpuestas.

关键词

Superficies ópticas superpuestas; Haz de luz de vortex; Láser de emisión de cavidad vertical; Dispositivos fotónicos integrados

阅读全文