Los últimos avances en la tecnología de dispositivos fotónicos integrados satisfacen plenamente la demanda del mercado de sistemas optoelectrónicos compactos y eficientes, al mismo tiempo que promueven el desarrollo de la tecnología de metasuperficies ópticas. En particular, la integración del láser de cavidad vertical emitido en superficie (VCSEL) con metasuperficies puede generar haces vectoriales con frentes de onda específicos, lo que aumenta enormemente la funcionalidad y flexibilidad de los sistemas optoelectrónicos. En este artículo se diseña un VCSEL de 850 nm basado en una metasuperficie con una matriz de nanoantenas de Si3N4, mediante el control de los parámetros estructurales de las nanoantenas se logró una cobertura de fase superior a 2π, y utilizando placas de fase vortex de primer y segundo orden, se generaron con éxito haces vortex de diferentes órdenes. Este logro proporciona nuevas ideas para la tecnología de control del campo óptico VCSEL mediante metasuperficies ópticas.
关键词
metasuperficie;haz vortex;láser de cavidad vertical;dispositivos fotónicos integrados